판매용 중고 GASONICS Aura 1000 #293827650

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000은 반도체 제작 프로세스에 일반적으로 사용되는 에처/애셔입니다. 큰 메인 에치 챔버, 로드 락 챔버, 클린 챔버 (clean chamber) 가있는 멀티 챔버 시스템입니다. 울트라 바이올렛 광원이 포함되어 있으며 독점 이온 빔 에치 (ion beam etch) 기술을 사용하여 정확한 에칭 결과를 제공합니다. 높은 종횡비 딥 에치 (deep etch) 기능을 갖추고 있으며, 오차 한계가 좁고 정확도는 +/-15nm입니다. 피쳐를 2um 너비와 2um 깊이까지 깊게 데치하는 데 사용할 수 있습니다. 실리콘, 알루미늄, 구리, 텅스텐 등 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 반복 스캔 메커니즘은 웨이퍼의 높은 처리량 에칭을 허용합니다. 한 번의 패스로 약 3 분 안에 더 큰 웨이퍼 (wafer) 를 스캔하여 작업 시간과 비용을 줄일 수 있습니다. 또한 듀얼 웨이퍼 셔틀 왜건 (dual wafer shuttle wagon) 이 장착되어 웨이퍼 입력 및 출력 기능이 향상되었습니다. 고급 사용자 인터페이스 (Advanced User Interface) 를 사용하면 압력, 전압, 전류 등의 매개변수를 조정하여 최적의 에치 결과를 얻을 수 있습니다. GASONICS Aura 1000은 정확한 에칭 방법과 뛰어난 반복성으로 유명합니다. 높은 수준의 정확도로 NOVELLUS Aura 1000은 고정밀 패턴 전송, 다이 온 다이 스태킹 및 기타 유형의 복잡한 에칭 응용 프로그램에 이상적입니다. 반도체, 태양 광, 자동차 및 가전 제품 응용 분야에 널리 사용됩니다. Aura 1000에는 품질 에칭 결과를 보장하는 다양한 고급 기능이 있습니다. 이러한 기능에는 폐쇄 루프 교정 및 제어, 고전압 서지 보호, 보호 실드, 정확한 온도 및 압력 제어, 자동 웨이퍼 정렬 등이 있습니다. 결론적으로 GASONICS/NOVELLUS Aura 1000은 정확성과 신뢰성을 염두에두고 설계된 고급 에처/애셔입니다. 높은 화면 비율 (Deep Etch) 기능, 높은 처리량 스캔 메커니즘 및 수많은 고급 기능으로 유명합니다. GASONICS Aura 1000 (GASONICS Aura 1000) 은 다양한 응용 프로그램에서 사용할 수있는 다양하고 신뢰할 수있는 도구입니다.