판매용 중고 GASONICS Aura 1000 #293827649

GASONICS/NOVELLUS A 1000은 고급 플라즈마 에칭 및 증착 공정을 위해 설계된 반도체 애셔/에처입니다. 표준 8 인치, 300mm 웨이퍼 카세트에 50 개 이상의 웨이퍼를 수용 할 수있는 대용량 공정 챔버가 특징입니다. 방은 가압되어 최적의 가스 관리 및 공정 오염 물질을 줄일 수 있습니다. 이 기계는 또한 복잡한 프로세스를 처리 할 수있는 로봇을 갖추고 있으며, 신뢰성과 반복성이 높은 다중 축 (multiple-axis) 동작을 제공합니다. GASONICS A 1000은 최첨단 마이크로 프로세서 및 제어 논리로 구동되며, 복잡한 프로세스를 정확하게 실행합니다. 프로세스를 관리하는 디지털 데이터는 일반적으로 사용되는 GPL (GASONICS Plasma Language) 로 작성되며, 각 프로세스에 맞게 조정됩니다. NOVELLUS A1000에는 NOVELLUS SPC-1000 ™ 소프트웨어도 포함되어 있으며 프로세스를 모니터링하고 제어하기위한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 제공합니다. SPC-1000 (TM) 을 사용하여 운영자는 리시피, 데이터, 결과를 저장하고 프로세스가 진행되는 동안 실시간으로 매개변수를 모니터링, 제어, 조정할 수 있습니다. 기본 GASONICS/NOVELLUS A1000 모델에는 유도 결합 된 플라즈마 소스 및 다이오드 감지 전자 빔 소스가 포함되어 있으며, 정교한 균일 성 제어 및 우수한 재료 품질로 빠른 펄싱 및 고속 증착이 가능합니다. 산소 및 질소 형태를 포함한 Pwner 선택 가능한 공정 가스는 재료 청소, 산화, 증착 및 에칭을 허용합니다. 이 기계에는 2 단계 로터리 시브 펌프와 저정비 터보 펌프로 구성된 터보 펌프 (turbopump) 시스템도 포함됩니다. 표준 에칭 및 증착 기능 외에도 A 1000은 사전 에치 (pre-etch) 클리닝, 에치 후 클리닝, 수동화 및 스트리핑 프로세스 옵션도 제공합니다. GASONICS A1000 은 에치 (etch) 및 증착 (deposition) 프로세스를 하나의 툴로 결합하여, 장치 구성 기술에 효율적이고 안정적인 접근 방식을 제공합니다. 노벨 러스 A 1000 (NOVELLUS A 1000) 은 정교한 프로세스 제어와 많은 고성능 기능을 통해 뛰어난 결과와 높은 수준의 제어를 제공할 수 있습니다.