판매용 중고 GASONICS Aura 1000 #293814135

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000은 내구성과 고급 에처 또는 애셔입니다. 이 장비는 다양한 기판에서 다층 지형 패턴화를 가능하게하도록 설계되었습니다. 에칭되는 표면은 유리 (glass) 와 석영 (quartz) 과 같은 평평한 기판에서 실리콘과 같은 곡면 (curved surfaces) 까지 다양합니다. GASONICS Aura 1000 (GASONICS Aura 1000) 은 설정에 따라 최대 75 분의 프로세스 확장 런타임 범위를 자랑하며, 이를 통해 정확한 시작-종료 에칭 일정이 가능합니다. 그것의 모든 포함 시스템은 신뢰할 수있는 세라믹, 냉각 다운 서브 챔버를 가지고 있으며, 이는 생산성을 높이고 입자 낙진을 줄이는 데 도움이됩니다. NOVELLUS Aura 1000은 사용자에게 프로세스를 보다 정확하게 제어하고 피드백을 제공하는 최첨단 Atlas 소프트웨어 제품군을 갖추고 있습니다. 통합된 EP (in-situ End Point Detection) 기능을 통해 종점을 정확하게 제어할 수 있으므로 전반적인 패턴화 성능이 크게 향상됩니다. 이 소프트웨어는 미세한 그레인 프로세스 제어 (Grain Process Control) 및 자동화를 활용하여 EMF 변동을 최소화하고 뛰어난 반복성과 추적성을 제공합니다. 이를 통해 사용자는 정확하고 비교할 수없는 정확도로 복잡한 구조를 엔지니어링 할 수 있습니다. 유지 관리 프로세스를 간소화하는 모듈식 디자인으로 설계된 오라 1000 (Aura 1000) 은 양방향으로 강력한 DC 바이어스를 적용할 수있는 듀얼 엔드 정전기 드라이브 (Dual-End Electrostatic Drive) 로 구성되어 있어 다양한 에칭 결과를 얻을 수 있습니다. 두께 필름 11 점퍼 매트릭스 (Thick-film 11 Jumper Matrix) 단위를 통해 달성된 이 고유 기능을 통해 사용자는 사전 프로그래밍된 논리 단계를 통해 패턴을 실시간으로 수정할 수 있습니다. 이러한 모든 기능은 사용자에게 중요한 이점을 제공합니다. 즉, 프로세스 유연성을 극대화합니다. GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 (GASONICS/NOVELLUS Aura 1000) 은 다양한 가스 및 플라즈마 화학 물질로 편안하게 작동하며, 이를 통해 사용자는 작업에 맞게 프로세스를 조정할 수 있습니다. 프로세스 품질이 우수하도록 단단한 밀봉 노즐 (tight-sealing nozzle) 을 갖춘 이 기계는 다양한 사용자 요구를 수용할 수 있으므로 GASONICS Aura 1000 (GASONICS Aura 1000) 은 프로세스 유연성을 극대화하기 위해 필수적인 도구입니다.