판매용 중고 GASONICS Aura 1000 #293811532

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000은 반도체 집적 회로 (IC) 제조에 사용되는 에처/애쉬 장비 클래스입니다. 이 Etcher/Asher 시스템은 정밀 플라즈마 에칭 및 화학 증착 (CVD) 처리를 수행하도록 설계되었습니다. 대형과 소형의 웨이퍼에 재료를 에칭 및 퇴적시키는 데 탁월한 정확성을 가지고 있습니다. 이 장치에는 2 개의 독립적 인 소스 챔버와 다양한 재료 증착을 처리하기위한 로드 락 챔버 (loadlock chamber) 가 있습니다. 에칭 및 CVD 프로세스에 대한 정확한 선형 및 각도 동작을 제공하기 위해 고정밀 XYZ 단계가 있습니다. 또한 손쉽고 정밀한 정렬을 위해 웨이퍼를 최대 300도 회전시킬 수있는 추가 로터리 (Rotary) 드라이브가 있습니다. Plasma Etcher/Asher의 진공 범위는 0.005-25 torr이고 압력 범위는 5-1000 mTorr입니다. 최대 75kW 전력 범위의 고밀도 플라즈마 에칭을 지원하는 강력한 RF 전원이 있습니다. 증착 속도는 분당 0.001-1.8m에 이르는 조정이 가능합니다. GASONICS Aura 1000에는 고급 플라즈마 셰이핑, 스텝 에칭 및 슬릿 에칭 기술과 같은 고급 플라즈마 제어 기능이 있습니다. 또한 고급 웨이퍼 처리 (wafer handling) 및 안전 (safety) 기능 (예: 웨이퍼가 제대로 확보되지 않은 경우 기계를 경고하는 경보 메커니즘) 과 RF를 감지하여 전기 호와 화재의 위험을 줄입니다. NOVELLUS Aura 1000 Etcher/Asher는 높은 정확성, 유연성 및 반복 성을 제공하기 때문에 IC 제조를위한 신뢰할 수있는 도구입니다. 에셋은 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface, GUI) 를 통해 제어할 수 있으며, 운영자는 프로세스 매개변수를 직관적으로 제어하고 진행 상황을 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 이 모델은 메모리, 논리 장치, MEM, 디스플레이 등 다양한 고급 기술과 호환됩니다.