판매용 중고 GASONICS Aura 1000 #293764333

GASONICS/NOVELLUS A 1000은 주로 반도체 생산에 사용되는 고급 에처/애셔입니다. 프런트엔드 프로세스 기능과 포스트 프로세싱 리버스 앵글 클리닝 기술을 모두 포함하는 완전한 기능의 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다. GASONICS A 1000은 10 구역 고급 플라즈마 소스를 특징으로하며, 균일 한 오버 프레이 제거, 입자 오염 최소화 및 프로세스 재생성 향상을 제공합니다. 기계의 고급 포토 마스크 작업을 통해 BEOL 및 BEOL/백엔드 (ULE 및 BAL) 포토 마스크를 포함한 다양한 포토 마스크를 결함없이 처리 할 수 있습니다. 에처는 직경이 최대 200mm 인 웨이퍼와 200mm ~ 6 인치 범위의 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 컴퓨터 성능을 저하시키지 않고 개별 매개변수 (parameter) 에 따라 고유한 에칭 창을 프로그래밍, 최적화할 수 있습니다. NOVELLUS A1000은 다양한 유전체 및 반도체 재료를 처리 할 수 있으며, 내부 게이트 수준의 깨끗한 기술은 오염이 적은 프로세스 결과를 보장합니다. 고급 배기 장비는 또한 스크래치를 방지하면서 효과적이고 장기적인 공기 여과를 보장합니다. 에치 프로파일 (etch profile) 을 관리하기 위해 기계에는 다양한 웨이퍼 (wafer) 와 기판을 테스트할 수 있도록 스캔 선택 (scan select) 기술이 제공됩니다. 또한 3D 서피스 패턴화 (3D surface patterning) 를 통해 에칭 피쳐의 프로파일을 보다 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한 온도 조절 시스템 (temperate control system) 을 통해 기판 재료의 온도 조절 에칭 (etching) 과 웨이퍼 모양과 프로파일을 모니터링하기위한 깨끗한 진단 장치 (clean diagnostics unit) 를 통해 실시간 프로세스 제어를 지원합니다. 전반적으로 A 1000은 최고 수준의 산업 요구 사항을 충족하도록 설계된 고급 etcher/asher입니다. 고급 프로세스 (advanced process) 기능에서부터 고급 클리닝 (clean) 진단 시스템에 이르기까지 다양한 기능을 통해 모든 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 어플리케이션에 적합한 옵션을 선택할 수 있습니다.