판매용 중고 GASONICS Aura 1000 #293746361

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 (GASONICS/NOVELLUS Aura 1000) 은 반도체 산업에서 기질의 정밀 에칭 및 재싱을 위해 설계된 플라즈마 에처 및 애셔입니다. 최신 고주파 마그네트론 이온화 (magnetron ionization) 기술이 적용되어 하이엔드 프로세스 요구에 대한 탁월한 균일성과 프로세스 제어를 제공합니다. 이 기계는 특허를 받은 대용량 RF 전원 공급 장치 (RF Power Supply) 로 구동되며, 프로세스 요구 사항에 맞게 조정된 다양한 매개변수로 작동할 수 있습니다. GASONICS Aura 1000에는 반응 챔버당 최대 8 개의 웨이퍼에 대한 5 구역 기판 처리 기능이 있습니다. 5 구역 기능은 정밀하고 낮은 온도 프로세스 제어 및 온도 및 스테이지 위치 정확도에 대한 미세 튜닝을 제공합니다. 고급 멀티 존 동시 에칭 및 애싱 기능을 통해 NOVELLUS Aura 1000은 지속적으로 우수한 에칭 및 애싱 결과를 보장합니다. 또한, 내장된 고급 실시간 etch 프로세스 최적화 옵션은 프로세스 개발 시간을 최소화하는 데 도움이 됩니다. 이 시스템은 또한 고급 로드 잠금 (load-lock) 및 로봇 로딩 (robot loading) 옵션을 통해 빠른 웨이퍼 로딩 및 언로드를 보장하고 자동화된 가스 흐름 제어 및 압력 관리 시스템을 통해 완벽한 프로세스 제어를 제공합니다. 또한, 이 시스템에는 특허를받은 WealthWall 옵션이 포함되어 있으며, 들어오고 나가는 입자에 대한 탁월한 안전 및 보호 기능을 제공합니다. Aura 1000은 다기능 다기능 소프트웨어를 사용하여 쉽고 직관적으로 작동합니다. 이 소프트웨어는 신뢰할 수 있는 운영 및 효과적인 프로세스 모니터링 (process monitoring) 을 위해 설계되었으며, 다양한 반도체 처리 요구 사항에 대해 여러 프로세스 레시피를 지원할 수 있습니다. 또한 GASONICS/NOVELLUS Aura 1000은 원 터치, 즉각적인 멀티 스테이지 에치 및 애싱 시퀀스 설정, 고급 장애 관리 및 프로세스 모니터링과 같은 다른 정교한 기능을 허용합니다. 요약하면, GASONICS Aura 1000은 강력하고 정확한 플라즈마 에처 및 애셔로, 광범위한 반도체 처리 작업을 처리 할 수 있습니다. 뛰어난 균일성, 온도 및 스테이지 위치 정확성, 자동 가스 흐름 제어 및 직관적 인 소프트웨어 (효율적인 작동) 를 자랑합니다. 고급 기능과 기능을 갖춘 NOVELLUS Aura 1000 (NOVELLUS Aura 1000) 은 안정적이고 정확한 에칭 및 애싱 프로세스가 필요한 사람들에게 적합한 선택입니다.