판매용 중고 GASONICS Aura 1000 #293690392

GASONICS Aura 1000 (GASONICS Aura 1000) 은 100mm 웨이퍼 프로세싱부터 400mm 웨이퍼 프로세싱까지 다양한 기능을 갖춘 가장 까다로운 프로세스를 위해 설계된 정교한 에처 및 애셔입니다. 이 정교한 에처 (etcher) 와 애셔 (asher) 는 최소 샘플 손상으로 고성능 플라즈마 에칭 및 애싱 공정이 가능합니다. 이 시스템은 2 개의 소스 챔버 (source chamber) 를 갖추고 있으며, 최대 3 개의 챔버와 선택적 애싱 챔버 (ashing chamber) 로 공구를 구성할 수 있습니다. 각 소스 챔버 (source chamber) 에는 2 개의 별도 및 독립적 인 가스 소스가 있으며, 정확한 프로세스 요구 사항을 달성하기 위해 다양한 옵션을 사용할 수 있습니다. 시스템은 직관적인 WIN TESS 소프트웨어 전용 컨트롤러를 통해 제어되므로 프로세스 제어가 정확합니다. 기질 바이어스 및 스테이지 온도에 대한 신뢰성 있고 정확한 온도 조절은 항상 유지되며, 일관되고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 이 시스템은 온보드 가스 소스의 정확한 교정을 통해 제어 할 수있는 에치 바이어스 (etch bias), 진공 수준 (vacuum level), 유량 (flow rate), 외장 흐름 (sheath flow) 및 압력으로 고급 프로세스 제어 기능을 제공합니다. Aura 1000에는 에치 및 애싱 프로세스의 웨이퍼 균일성을 향상시키는 RMA (Retainable Membrane Unit) (옵션) 가 포함되어 있습니다. 특허 받은 RMA 기술은 특정 응용 프로그램에서 훨씬 더 높은 수율을 제공합니다. GASONICS Aura 1000은 가스 압력, 흐름, 온도, 진공 수준 등 유용한 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링하고 표시하여 내결함성을 제공하도록 설계되었습니다. 이를 통해 사용자는 수익률을 높이고, 손상 위험을 최소화하면서 성능을 일관되게 유지할 수 있습니다. 이 기계의 직관적인 연산자 디스플레이 패널은 모든 문제를 파악, 이해, 해결하는 데 필요한 정보를 한눈에 살펴봅니다. Aura 1000은 뛰어난 균일성과 에칭 성능을 제공하면서 주기 시간을 단축하도록 설계되었습니다. 가소닉스 (GASONICS) 의 독보적인 지원과 세계 최고의 플라즈마 에칭 및 애싱 프로세스를 통해 사용자는 항상 빠른 처리 속도를 보장합니다.