판매용 중고 GASONICS Aura 1000 #293586844

GASONICS Aura 1000은 고급 반도체 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 최첨단 플라즈마 에처/애셔 장비입니다. 이 장비 는 "반도체 '산업 에서 매우 정밀 하고 반복성 이 높은 기판 의 식각 및 청소 에 널리 사용 되고 있다. 오라 1000 (Aura 1000) 은 집적 회로 및 기타 마이크로 일렉트로닉 장치의 제작에서 다양한 프로세스 요구 사항에 적합한 다양한 기능을 제공합니다. GASONICS Aura 1000은 기판을 빠르고 효율적으로 처리 할 수있는 고성능 플라즈마 소스를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 기체 (일반적으로 불소 기반 화학 물질) 의 조합을 사용하여 기질의 표면을 선택적으로 에칭하거나 청소하는 반응성 플라즈마 (reactive plasma) 를 만듭니다. "플라즈마 '는 공정" 챔버' 내 의 "가스 '혼합물 에" 라디오' 주파수 (RF) 의 동력 을 사용 하여 생성 되어 정밀 한 재료 제거 를 위한 제어 된 환경 을 조성 한다. Aura 1000의 주요 기능 중 하나는 고급 프로세스 제어 기능입니다. 이 장치에는 에칭 프로세스를 실시간으로 모니터링 할 수있는 정교한 엔드 포인트 감지 (endpoint detection) 기술이 장착되어 있습니다. 이를 통해 연산자는 에치 깊이 (etch depth) 와 끝점 (endpoint) 을 정확하게 제어하여 일괄 처리 간에 균일성과 정확성을 보장할 수 있습니다. 또한, 사용자는 특정 애플리케이션의 프로세스 매개 변수를 손쉽게 프로그래밍하고 최적화할 수 있는 레시피 (recipe) 관리 소프트웨어를 제공합니다. 기판 처리 측면에서, GASONICS Aura 1000 (GASONICS Aura 1000) 은 다양한 웨이퍼 크기를 처리하기위한 다용도 및 신뢰할 수있는 플랫폼을 제공합니다. 공구에는 공정 챔버 (process chamber) 에서 기판을 안전하게 적재 및 언로드 할 수있는 로봇 암 (robotic arm) 이 장착되어 있으며, 운영자의 개입을 최소화하고 오염 위험을 줄일 수 있습니다. 챔버 (chamber) 설계는 또한 균일 한 가스 흐름 및 온도 분포에 최적화되어 전체 기판 표면에서 일관된 에칭 및 클리닝 결과를 보장합니다. Aura 1000은 사용성과 생산성을 향상시키는 사용자에게 친숙한 기능으로 설계되었습니다. 에셋에는 직관적인 터치스크린 인터페이스 (touchscreen interface) 가 장착되어 있어 운영자가 프로세스 매개변수를 실시간으로 쉽게 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 또한 내장 진단/유지 보수 툴을 통해 장비 문제 해결 및 유지 보수를 간소화하고, 다운타임을 줄이고, 전반적인 시스템 안정성을 향상시킵니다 (영문). 안전 및 환경 고려 측면에서, GASONICS Aura 1000은 강력한 격리 시스템을 통해 공정 배출량을 최소화하고, 운영자가 유해 화학 물질 및 가스에 노출되지 않도록 보호합니다. 반도체 제조 설비에 대한 규정 및 Best Practices 준수를 보장하기 위해 배출량 관리 (Emails Control) 및 직장 안전 (Workplace Safety) 에 대한 업계 표준을 준수하도록 설계되었습니다. 전반적으로, Aura 1000은 반도체 처리 응용 프로그램을 위해 고급 기능을 제공하는 매우 다재다능하고 신뢰할 수있는 플라즈마 에처/애셔 머신입니다. 정밀 프로세스 제어, 기판 처리 기능, 사용자 친화적 인터페이스, 안전 기능을 갖춘 GASONICS Aura 1000은 반도체 업계에서 까다로운 제작 프로세스에 적합합니다. 첨단 기술과 성능으로 집적 회로 (integrated circuit) 와 기타 마이크로일렉트로닉 장치 (microelectronic device) 생산에서 고품질의 결과를 얻을 수 있는 귀중한 도구입니다.