판매용 중고 FULINTEC FU-16PEB #9181351

FULINTEC FU-16PEB
제조사
FULINTEC
모델
FU-16PEB
ID: 9181351
빈티지: 2011
PECVD System 2011 vintage.
FULINTEC FU-16 PEB는 정밀 에처 및 애셔의 주요 생산 업체 인 FULINTEC에서 설계 및 제조 한 etcher/asher입니다. 업계 수준의 이 장비는 최대 16 개의 웨이퍼를 동시에 에칭 (eching) 하거나 애쉬 (ashing) 할 수 있어 생산 환경에 적합합니다. 고급 기술을 사용하여 설계되었으며, 각 웨이퍼의 독립적 온도 제어, 에칭 (etching) 또는 애싱 에이전트 (ashing agent) 의 정밀 농도, 웨이퍼 처리 시간을 제어하는 타이머 등의 기능을 포함합니다. FU-16 PEB의 독립 온도 제어는 내장 PID (비례 적분 파생) 컨트롤러를 통해 수행됩니다. 이를 통해 각 웨이퍼를 다른 온도에서 처리하여 각 웨이퍼에 대한 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 정밀 농도 조절은 알맞은 양의 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 제만 사용하므로 비용 효율적이고 효율적입니다. FULINTEC FU-16 PEB의 온도 범위는 20 ° C ~ 450 ° C이며 다양한 에칭 또는 애싱 프로세스에 적합합니다. 여기에는 타이머 (timer) 를 사용하여 사용자가 프로세스 시간을 미리 설정할 수 있으며, 각 웨이퍼가 처리되는 시간을 쉽게 제어할 수 있습니다. 또한 프로세스 매개변수 및 현재 상태에 대한 정보를 제공하는 LCD 디스플레이가 있습니다. FU-16 PEB의 챔버는 14 리터의 용량을 가지며 스테인리스 스틸로 구성됩니다. 그것 은 온도 조절 이 되도록 설계 되었으며, 열 을 "챔버 '전체 에 균등 하게 분배 시키고, 열 분배 가 고르지 않아 발생 할 수 있는 손상 을 방지 한다. FULINTEC FU-16 PEB는 중앙 또는 로컬 가스 공급 장치에 연결할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 에이전트 공급을 제어할 수 있습니다. 또한 충격 흡수기, 웨이퍼 홀더, 샘플 홀더, 가스 조절기 및 기타 다양한 컨트롤을 포함한 다양한 액세서리와 호환됩니다. 이 FULINTEC 모델은 안정적이고 견고한 장비로, 정확하고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 첨단 기술을 사용하여 설계되었으며, 최대 16 개의 웨이퍼 (wafer) 를 동시에 처리할 수 있어 생산성을 극대화할 수 있습니다. 독자적인 온도 조절, 정밀 제어, 타이머는 사용자가 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 프로세스를 완전히 제어하는 반면, 견고한 스테인레스 스틸 (stainless steel) 구조는 장치의 장기적인 안정성과 성능을 보장합니다.
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