판매용 중고 FOI RYDEEN 10000 #293644784
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ID: 293644784
Descum system
(2) Load ports
(2) Process chambers
Transfer chamber
PMC Rack
Power rack
SMC Chiller
Gases:
O2
N2
H2
CF4.
FOI RYDEEN 10000은 비용 효율적인 고성능 에칭 및 애싱 어플리케이션을 위해 설계된 에처/애셔입니다. 이 장치는 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 구성되었으며 효율적인 가열을 제공하기 위해 열 절연되어 있습니다. 챔버 크기는 7cm x 7인치 (17.78cm x 17.78cm) 이며 깊이는 6인치 (15.24cm) 입니다. 이 장치의 온도 범위는 0 ° C ~ 1000 ° C이며, 정확도는 ± 2 ° C, 온도 안정성은 ± 1 ° C입니다. 히터는 10 초 동안 최대 1000 ° C까지 빠른 가열이 가능하며 350 와트의 전력 만 소비합니다. FOI RYDEEN-10000은 몇 가지 안전 기능으로 설계되었습니다. 온도가 1000 ° C에 도달하면 장치를 끄는 자동 차단 기능뿐만 아니라 과열 방지 (over-heating) 를 위해 열 차단 회로가 내장되어 있습니다. 또한 누출 방지 전류 탐지 장치 (anti-leakage current detection device) 및 온도 센서 (temperature sensor) 가 제공됩니다. 이 장치에는 쉬운 작동과 안전을 위해 인체 공학적으로 설계된 실리콘 손잡이가 있습니다. RYDEEN 10000에는 온도와 상태를 쉽게 모니터링 할 수있는 디지털 디스플레이가 있습니다. 이 장치에는 램프 업, 타이머, 애싱, 에칭 등 여러 가지 에칭 및 애싱 기능이 장착되어 있습니다. 포함 된 석영 용기 (quartz container) 로이 장치는 금속, 반도체 재료, 유리 등 다양한 재료를 에칭하고 세척하는 데 사용될 수 있습니다. RYDEEN-10000은 에칭 깊이, 에칭 속도 및 에칭 정확도를 포함한 여러 에칭 기능을 제공하며, 에칭 깊이는 0-700zm입니다. 또한, 재싱 성능은 1 분 안에 800 ° C의 온도에 도달 할 수 있습니다. FOI RYDEEN 10000 은 매우 효율적이고 비용 효율적이므로 SMB (중소, 중견, 성장 기업) 를 위한 이상적인 솔루션입니다. 이 장치는 22 "x 10" x 8.5 "(55.88 cm x 25.4 cm x 21.59 cm) 크기의 케이스로 가볍고 휴대성이 뛰어납니다. 또한 제조업체의 1 년 보증으로 운영 및 유지 보수가 용이합니다. 이 장치는 모든 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 애플리케이션에 이상적이며 가격 대비 탁월한 가치입니다.
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