판매용 중고 FEMTO COGRADE RF300 #9066064

FEMTO COGRADE RF300은 실험실에서 사용하도록 특별히 설계된 에칭 및 애싱 머신입니다. 그것은 서브 미크론 필름의 증착 및 에칭, 고밀도 마이크로 머키닝 (high precision micromachining) 및 기타 형태의 재료 처리와 같은 응용 분야에 이상적입니다. RF300에는 완전 프로그래밍 가능한 RF 생성기와 독립적 인 에칭 챔버가 장착되어 있습니다. 제어판 (Control Panel) 은 사용자에게 친숙한 기능으로, 직관적이고 강력한 인터페이스를 제공하여 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 주기를 만듭니다. 발전기는 5 kHz ~ 2 MHz 주파수를 사용할 수 있으며 단일 파동 또는 최대 4 개의 채널에 2 개의 RF 신호를 조합 할 수 있습니다. 또한 낮은 마그네트론 전력, 낮은 내부 인덕턴스 및 좋은 현장 균질성이 특징입니다. RF300의 에칭 챔버는 적외선 램프를 통해 가열됩니다. 온도는 0 ° C ~ 300 ° C에서 조정할 수 있습니다. 이것은 그 수준까지의 온도에서 재료를 처리하는 데 적합합니다. 이 챔버에는 광학 검사 포트 (optical inspection port) 가 있어 사용자가 에칭 프로세스를 관찰 할 수 있습니다. COGRADE RF300은 또한 다양한 응용 프로그램을 가능하게하기 위해 다른 프로세스를 지원합니다. 여기에는 습식, 젖은 청소, 수동 및 양극 에칭이 포함됩니다. 이 모든 기능을 사용하기 위해, 사이클 동안 가스를 정확하게 제어 할 수있는 인시 (in-situ) 가스 전달 시스템 (in-situ gas delivery system) 도 갖추고 있습니다. FEMTO COGRADE RF300에는 시스템 압력의 지속적인 모니터링을위한 전용 진공 컨트롤러도 있습니다. 따라서 수동 보정이 필요 없으며 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, "에처 '는 또한 광학 현미경 과 같은 다른 기구 들 과 결합 하여 기능 을 수행 할 수 있는데, 이것 은" 에칭' 표면 결과 를 정확 히 분석 하는 데 유용 하다. 전반적으로 COGRADE RF300은 광범위한 어플리케이션을 위한 강력한 제어, 정밀도, 유연성을 제공합니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 는 사용하기 쉽고 안정성이 뛰어납니다. 이것은 모든 실험실 환경에 이상적인 도구입니다.