판매용 중고 EUROPLASMA CD1000 Nanofics #9311891
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EUROPLASMA CD1000 Nanofics는 마이크로 및 나노 스케일의 기판을 에칭 또는 애싱 할 수있는 일종 장비입니다. 이 시스템은 매우 정밀하고 정확도가 높은 다양한 샘플을 에치 (etch) 하도록 설계되었습니다. 이 장치는 추진 및 기판을 회전시키기 위해 2 개의 마이크로 조작기와 결합 된 직류 플라즈마 소스 (direct current plasma source) 를 사용하여 단위 시간당 프로세스 영역을 증가시킵니다. 직류 플라즈마 소스는 무선 주파수 에칭 (eching) 과 같은 대체 소스에서 더 높은 에치 레이트 (etch rate) 를 허용하는 동시에 해상도를 위해 고품질 에치 깊이를 생산합니다. 또한, 직류 원은 산소 함유 플라스마를 생성하여 기계에 금속, 유리, 플라스틱 등 다양한 물질을 에치 할 수있는 기능을 제공합니다. 미세 조작기 (micro-manipulator) 는 기계적으로 견고하며, 에칭 된 기판의 자동 교환을 허용하면서 처리량을 증가시키는 고해상도 동작 능력을 갖습니다. 또한 CD1000 에는 인력과 장비를 보호하는 툴에 통합된 안전 기능이 포함되어 있습니다. 에셋은 온도, 압력, 농도 등 에칭 (etching) 프로세스의 모든 매개변수를 모니터링하여 운영자가 항상 안전한 범위 내에서 작동하도록 합니다. 또한, 이 모델은 비상 사태 발생 시 자동으로 챔버 (chamber) 를 종료하고 제거 (purge) 할 수 있으며, 샘플과 인원을 보호하고, 운영자에게 이해하기 쉬운 상세한 보고서를 제공합니다. 마지막으로, 이 장비는 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 표시되는 작업을 통해 사용자 친화적으로 설계되었으며, 이를 통해 운영자의 통제하에 보고서를 쉽게 이해할 수 있습니다. 전반적으로, CD1000 Nanofics 시스템은 운영자 안전을 제공하면서 극한 수준에서 정밀 에칭 및 해상도를 제공하는 마이크로 (micro) 및 나노 스케일 (nanoscale) 어플리케이션을 위해 설계된 고급 에칭 장치입니다. 자가 환경 (automated environment) 에서 작업할 수 있는 기능을 갖추면서 다양한 재료를 에칭할 수 있습니다. 이 기계는 안전 (Safety) 기능과 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 를 갖추고 있어 다양한 어플리케이션에 적합합니다.
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