판매용 중고 EUROPLASMA CD1000 Nanofics #9311808

EUROPLASMA CD1000 Nanofics는 반도체 마이크로 머치닝 응용 분야를 위해 특별히 설계된 드라이 에칭 및 애싱 시스템입니다. 고정밀 공기 (high-precision air) 및 반응성 가스 플라즈마 처리 (reactive gas plasma processing) 를 한 장치에 결합하여 얇고 균일 한 에칭 프로파일을 완벽하게 제어합니다. CD1000 Nanofics에는 이중 레벨 질량 흐름 컨트롤러가 장착되어 있어 정확하고 자동화된 에칭 속도 (etching rate) 및 압력 조정이 가능합니다. 이렇게 하면 프로세스 반복성이 향상되고 보다 정확한 etch/ash 프로파일이 제공됩니다. 또한 저압 RF 전력 발전기 (power generator) 가 장착되어 시스템에 더 높은 혈장 밀도와 이온 에너지에 도달 할 수 있습니다. 이로써 매우 낮은 온도 의 물질 을 "에치 '하여 열 손상 을 최소화 하고 보다 균일 한" 에칭' 결과 를 얻을 수 있다. EUROPLASMA CD1000 Nanofics는 오픈 소스 플랫폼으로, 사용자가 자체 플라즈마 프로세스를 사용자 정의하고 프로그래밍 할 수 있습니다. Si, SiO2, SiN, SiC, GaN 및 유기 유전체를 포함한 다양한 재료를 위해 설계되었습니다. 10 nm 이하의 두께로 에치 또는 애쉬 다운 할 수 있으며, 피쳐 크기는 50 nm 이하입니다. 대기 및 감소 된 압력 모두에서 에칭 및 애싱 (ashing) 이 가능하며 -60 ° C까지 낮은 온도에 도달 할 수 있습니다. 또한 100nm 이하의 기능 에칭을위한 자동 in-situ 기판 홀더가 있습니다. 홀더는 마이크로 로딩을 줄이고 반복 가능하고 정확한 기능을 허용합니다. 전반적으로, CD1000 Nanofics는 다양한 재료의 빠르고 정확한 마이크로 머신 (micromachining) 을 위해 설계된 고급 에칭 및 애싱 시스템입니다. 저온, 저압 플라즈마 기술, 저열 손상, 반복성의 조합은 반도체 에칭 및 애싱 애플리케이션에 혁명을 일으켰습니다.