판매용 중고 ESC ELAS #9156747

ESC ELAS (Electrostatic-Lithographic-Asher의 약자) 는 Esterline Corporation에서 개발 한 고급 에칭 및 애싱 기계입니다. ELAS 는 프로토 타이핑 (prototyping) 및 대용량 운영 애플리케이션 모두에 대해 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. ESC ELAS는 모듈 식 에칭 및 애싱 장비로, iMix, iControl 및 iX-max의 3 가지 연결 장치로 구성됩니다. iMix (iMix) 는 에칭 및 애싱 (ashing) 에 필요한 화학을 제공하는 반면, iControl 은 에칭 및 애싱 프로세스의 컨트롤러로, 프로세스의 정확한 제어 및 데이터 획득을 지원합니다. iX-max는 에칭 프로세스를 자동화하는 데 도움이되는 고정밀 X축 동작 제어 시스템입니다. ELAS는 정전기 석판 기술을 사용하여 작동합니다. 이 유형의 리소그래피 (lithography) 는 에찬트 용액 (etchant solution) 을 사용하여 이전에 패턴화 된 기판에 노출되었을 때 불필요한 재료를 제거하고 원하는 피쳐만 표면에 에칭합니다. 결과는 전통적인 습식 에칭 공정을 사용하여 달성 할 수있는 것보다 더 높은 정밀 에칭입니다. ESC ELAS는 구리, 기타 금속, 유전체, 반도체 등 다양한 물질을 에칭하고 부화 할 수 있습니다. ELAS는 사용 된 기질 및 화학에 따라 미크론 수준의 기능에 대한 뛰어난 해상도 및 패턴을 제공합니다. 또한 유연성이 뛰어난 기계로, 정확한 사용자 요구사항에 맞게 조정할 수 있는 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 지원합니다. ESC ELAS 장치에는 통합 도량형 기계가 포함되어 있으며, 에칭 및 애싱 전, 중, 후 기판을 검사하고 모니터링합니다. 통합 도량형 모듈을 사용하면 비접촉적 (non-contact) 및 비파괴적 (nonstructive) 측정을 위해 웨이퍼를 반복적으로 스캔할 수 있습니다. 또한 ELAS 는 사용자 친화적으로 설계되어, 직관적인 GUI (그래픽 인터페이스) 를 사용하여 Touch Screen 또는 Remote Computer 의 프로세스 설정을 조작할 수 있습니다. 전반적으로 ESC ELAS는 매우 정확하고 정확한 결과를 제공하도록 설계된 안정적이고 효과적인 에칭/애싱 머신입니다. 이 제품은 고급 기술과 통합 도량형 (Integrated Metrology) 을 갖춘 다용도 기계로, 프로토타입 (Prototyping) 및 대용량 생산 어플리케이션 모두에 적합합니다.