판매용 중고 E&R Plasmax 800C #293748025

E&R Plasmax 800C
제조사
E&R
모델
Plasmax 800C
ID: 293748025
Plasma cleaning system.
E&R Plasmax 800C는 많은 재료의 플라즈마 강화 드라이 에칭을 위해 E & R이 디자인 한 에처/애셔입니다. 일관된 부품 품질을 보장하기 위해 사용자에게 최고의 정확성과 반복 성을 제공하도록 설계된 Plasmax 800C (Plasmax 800C) 는 박막 증착 및 복합 반도체 장치 제조에 사용되는 강력한 도구입니다. 이 장비는 진동 감쇠 (Vbration Dampening), 균형 잡힌 제어 (Balanced Control), 유지 보수 및 서비스를 위한 간편한 액세스 등 안정적인 장기 운영을 가능하게 하는 견고한 기본 설계를 갖추고 있습니다. 사용자 인터페이스 (User Interface) 는 포괄적이고 사용이 간편하며, 사용자가 신속하게 설치, 실행, 복잡한 에칭 패턴을 빠르고 쉽게 만들 수 있습니다. E&R Plasmax 800C의 중심에는 뛰어난 에칭 성능을 제공하도록 설계된 통합 고압 플라즈마 소스가 있습니다. "플라즈마 '원 은 여러 가지 압력 에 걸쳐 작용 하며, 조정 가능 한" 파라미터' 는 가공 "가스 '화학, 온도 및 종 분포 를 정확 히 제어 할 수 있다. 높은 압력으로 작동하면 에치 선택성 (etch selectivity) 및 선택성 제어 (selectivity control) 를 최대화하며, 낮은 압력에서는 많은 재료의 배치 처리에 사용할 수 있습니다. 플라즈맥스 800C (Plasmax 800C) 는 완벽하게 자동화되어 특정 에칭 패턴과 프로세스에 대한 레시피를 프로그래밍하고 저장할 수 있는 기능을 사용자에게 제공합니다. 완전 자동 소스 (Fully Automatic Source) 및 프로세스 제어 (Process Control) 기능을 통해 프로세스 일관성과 정확성이 향상되고 고객이 고유한 맞춤형 프로세스를 생성할 수 있습니다. 이 장치는 레이저 높이 도량형 (laser height metrology) 및 보호 강화 코팅 (protective hardened coating) 과 같은 다양한 옵션 기능으로 더욱 향상되었으며, 이를 통해 사용자는 다양한 재료에서 광범위한 프로세스 기술을 달성 할 수 있습니다. 또한 E&R Plasmax 800C에는 프로파일 기반 레시피, 단일 단계 웨이퍼 패턴 인식, 레시피 프로그래밍 및 저장 기능 등, 기계 작동을 단순화하도록 설계된 직관적인 소프트웨어 도구 어레이가 제공됩니다. Plasmax 800C는 업계 최고의 성능과 유연성을 제공하는 강력하면서도 사용하기 쉬운 etcher/asher입니다. 탁월한 에치 레이트 (etch rate), 탁월한 선택성 제어, 신뢰할 수 있고 반복 가능한 결과를 제공하며, 수작업 프로세스에서 매우 효율적이고 자동화된 프로세스로 신속하고 쉽게 전환할 수 있습니다.
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