판매용 중고 E&R Plasmax-602A #9157568

E&R Plasmax-602A (E&R Plasmax-602A) 는 현대 생산 라인 제조의 요구를 충족시키기 위해 설계된 안정적이고 정밀한 etcher/asher입니다. 그것은 최대 16 개의 웨이퍼를 수용 할 수있는 16 개의 위치 회전 목마를 갖춘 혁신적인 "개방형 아키텍처" 를 특징으로하며, 최대 8 개의 웨이퍼 레이어와 정렬 할 수 있습니다. 이것 은 심지어 16 개 의 "웨이퍼 '까지도 매우 정밀도 로 한 번 에 에치 혹은 재 를 칠 수 있게 한다. Plasmax-602A는 단단하면서도 유연한 설계로 높은 수준의 정밀도를 보장합니다. 통합 전원 장비는 로드 라인 보상, 고속 응답 HF 전원 공급 장치와 최대 600 V 출력의 DC 전원 공급 장치를 갖추고 있습니다. 이를 통해 고도의 균일 성과 반복성을 유지하면서 웨이퍼를 정확하게 에칭 또는 재 (ashing) 할 수 있습니다. E&R Plasmax-602A는 또한 뛰어난 안전 기능을 갖추고 있습니다. Vacuum Class II Safety Level은 시스템이 외부 오염으로부터 보호되는지 확인합니다. 또한 안전 마이크로 스위치 (Safety Microswitch) 옵션과 안전 향상 및 위험 감소를 위한 유전체 필름 설치 (Dielectric Film Installation) 옵션도 포함되어 있습니다. 또한 Plasmax-602A 는 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 재료를 사용하여 작업할 수 있으며, 미디어 로드 및 언로드를 위한 간편한 액세스 측 포트를 제공합니다. 프로세스 제어는 매우 효율적이며, PC 및 PLC 제어 시스템은 물론, 전체 데이터 획득도 지원합니다. 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 프로세스 개발 (process development) 과 중요한 프로세스 모니터링 기능 (process monitoring function) 을 통해 최적의 유닛 성능을 보장할 수 있습니다. 마지막으로, E&R Plasmax-602A에는 고급 센서 어레이, 모듈식 프로세스 제품군, 빠른 릴리즈 부품 카트리지와 같은 기능이 장착되어 있습니다. 이를 통해 기계는 적응력이 뛰어나고 다양한 어플리케이션의 고유한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 또한, 포괄적인 서비스 패키지 (service package) 는 앞으로 몇 년 동안 최고 성능으로 작동하도록 보장합니다.