판매용 중고 E&R Plasmax 600A #9217455

E&R Plasmax 600A Etcher/Asher는 다양한 어려운 응용 프로그램에 사용되는 완전 자동 에칭 및 애싱 장비입니다. 플라즈마 에칭 (plasma etching), 습식 에칭 (wet etching) 및 드라이 애싱/스트리핑 (dry ashing/stripping) 이 가능하여 광범위한 에칭 및 애싱 작업에 사용할 수 있습니다. 이 에치/애쉬 (etch/ash) 시스템을 사용하면 효율적이고 반복 가능한 프로세스 제어를 위해 에칭 및 애싱 매개변수를 쉽게 프로그래밍하고 조정할 수 있습니다. Plasmax 600A에는 RF 생성기가 내장된 모듈식 디자인과 다양한 주파수 (최대 950MHz) 에 대한 요구 사항을 충족하는 소형 매칭 네트워크가 있습니다. 이 장치에는 플라즈마 생성용 내장 고전압 발전기와 에칭/애싱 (etching/ashing) 작업 중 플라즈마 배출 수준을 측정하기위한 방출 측정기 (emission meter) 가 장착되어 있습니다. E&R Plasmax 600A는 또한 작업 중 사고를 방지하기 위해 인터 록 (interlock) 및 경보 기능이있는 통합 안전 기계를 갖추고 있습니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 에칭, 애싱 및 드라이 스트립핑 성능을 향상시키기 위해 설계된 최적화 된 공정 챔버를 제공합니다. 에칭/애싱 성능을 모니터링하기위한 쿼츠 창과 셔터, 진공 펌프, 디지털 공정 압력 제어 도구, 진공 게이지가 특징입니다. 플라즈맥스 600A (Plasmax 600A) 는 또한 질소 및 산소 입력 포트와 통합 된 질량 흐름 컨트롤러를 갖추고 있어 정확하고 안정적인 에칭 및 마이크로 머키닝 프로세스를 보장합니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 또한 작업을 사용자 정의하고 다양한 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 액세서리를 자랑합니다. 여기에는 정전기 척, 섬세한 재료를 가공하기위한 특수 단계 및 플레이트, 공정 영역을 제어하기위한 광학 마스크, 값비싼 부품 및 기판을 보호하기위한 오염 방지 (APC) 자산이 포함됩니다. 또한 E&R Plasmax 600A 를 업그레이드하여 보다 특화된 애플리케이션을 위한 추가 기능을 추가할 수 있습니다. 예를 들어, 모델은 커패시턴스 커플 링 플라즈마 (CCP) 디스플레이, 효율적인 발열을위한 다단계 스테인리스 스틸 플랫폼, 또는 플라즈마 균일성을 향상시키는 비활성 가스 생성기를 장착 할 수 있습니다. 전체적으로 Plasmax 600A (Plasmax 600A) 는 신뢰할 수 있고 정밀한 에칭 및 애싱 (ashing) 장비로 광범위한 어려운 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다. 즉, 프로세스 유연성과 반복성을 극대화하여 탁월한 프로세스 제어, 성능 향상을 실현할 수 있도록 설계되었습니다.