판매용 중고 DRYTEK 384T #9083713

DRYTEK 384T는 가장 까다로운 마이크로 일렉트로닉스 및 박막 재료 처리 응용 프로그램에 사용하도록 설계된 etcher/asher입니다. 반응성 이온 에칭 및 플라즈마 보조 에칭 및 애싱 절차를 위해 설계되었으며, 반도체, 생의학, 제약 및 통신을 포함한 다양한 산업에서 사용됩니다. 384T는 24 x 24 인치 (610 x 610mm) 챔버를 가지며 최대 웨이퍼 크기는 4 인치 (100mm) 입니다. 진공실은 고품질 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 초저 O2/N2 가스 제어 시스템이 장착되어 있습니다. 이 시스템은 터치 스크린 패널을 통해 프로세스 레시피를 정확하게 제어 할 수 있습니다. DRYTEK 384T는 기본 압력 0.5 mtorr로 실온에서 1000 & deg; C 범위의 공정 온도를 달성 할 수 있습니다. 또한 플라즈마 에칭 및 애싱 (ashing) 을 위해 조절 가능한 고주파 무선 주파수 전원이 있습니다. 384T에는 사용자 정의 응용 프로그램 설정에 사용할 수있는 다양한 액세서리가 있습니다. 여기에는 셔터 시스템, 운송 시스템 및 반응 단계 카트가 포함됩니다. 수송 시스템은 샘플 준비, 교환 가능한 로봇 암과의 운영 등 완전한 웨이퍼 (wafer) 수송 솔루션을 제공합니다. 반응 단계 카트를 사용하면 열전대 (thermocouple), 온도 제어기 (temperature controller) 및 기타 다양한 가열 요소로 시스템을 사용자 정의할 수 있습니다. DRYTEK 384T etcher/asher는 안전성과 진단 시스템이 내장 된 안정성과 사용 편의성을 위해 설계되었습니다. 이러한 시스템은 실시간 프로세스 모니터링 및 피드백을 제공하여 프로세스 수율을 최적화합니다. 통합 이온 빔 소스를 사용하면 UV 강화 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 을 통해 높은 선택성과 낮은 잔류 손상이 가능합니다. 또한, 웨이퍼 스피너 (wafer spinner) 는 최대 50,000 rpm의 속도를 가능하게하여 정확한 균일성 및 균일성 제어를 가능하게합니다. 384T는 고밀도 플라즈마 에치, 고율 애싱, 선택성 에치, 반응성 이온 에치 (RIE) 및 웨이퍼 저항 프로세스를 포함한 광범위한 에치 및 애싱 응용 분야에 적합합니다. 견고한 디자인, 신뢰할 수 있는 제어 기능, 깨끗함 기능, 뛰어난 프로세스 안정성, 반복성을 제공합니다. 또한 장기적인 비용 효율성과 유지 보수 이점을 제공합니다. DRYTEK 384T (DRYTEK 384T) 는 가장 복잡한 재료 처리 요구 사항을 위해 설계되었으며, 이는 모든 에칭 또는 애싱 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.