판매용 중고 DNS / DAINIPPON TE-650G #9383289
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DNS/DAINIPPON TE-650G는 고도의 반도체 집적 회로의 정확하고 정확한 제작을 위해 설계된 에칭 및 애싱 머신입니다. 고압 가스상 세라믹-리액티브 (ceramic-reactive) 공정을 사용하여 트랜지스터, 다이오드, 커패시터와 같은 장치를위한 고밀도 패드를 생성하기 위해 웨이퍼 표면에 복잡한 기능을 에치합니다. 이 기계는 최대 1600 ° C의 온도에 도달 할 수있는 강력한 듀얼 챔버 (dual chamber) 난방 시스템을 갖추고 있어 웨이퍼의 정확한 에칭을 위해 완벽한 열 제어를 제공합니다. 또한 최대 10-4 torr의 진공을 달성 할 수있는 고압 드라이 에치 챔버가 특징입니다. 이 장치의 정밀도는 주파수 제어 가스 분사 밸브 (Informated Frequency-controlled gas Injection Valve) 에 의해 더욱 보장되며, 정확한 양의 재료를 적절한 타이밍에 전달하여 최적의 에칭 피쳐를 만듭니다. 이 시스템은 온도 (temperature) 및 압력 센서 (pressure sensor) 를 갖추고 있어 에칭 프로세스를 실시간으로 면밀히 모니터링할 수 있습니다. 효율성을 높이고 비용을 절감하기 위해 DNS TE-650G 는 복잡한 프로그래밍 가능한 컨트롤러로, 사용자가 에치 (etch) 레시피를 저장하고, 신속하게 리콜하여 반복 가능한 결과를 만들고, 필요에 따라 프로세스를 미세하게 조정할 수 있도록 합니다. 또한 이 컨트롤러는 사용자가 설정을 빠르게 조정하고 복잡한 에치 (etch) 프로파일을 저장할 수 있도록 허용하면서 설정 시간을 최소화해야 합니다. DAINIPPON TE-650G (DAINIPPON TE-650G) 는 고급 광학 검사 시스템과도 호환되므로 에치된 기능을 높은 정확도로 검토 할 수 있습니다. 이 기계는 포괄적인 안전 시스템을 통해 안전하고 안전합니다. 여기에는 위험한 상황에서 프로세스를 끄는 가스 (gas) 및 압력 차단 시스템 (pressure shutoff system) 과 파우더가 작업 공간으로 들어가는 것을 방지하는 양방향 팬 (two-way fan) 이 포함됩니다. TE-650G 는 정확한 정확성과 반복성을 갖춘 첨단 제작 (fabrication) 프로세스를 수행하기 위한 탁월한 툴입니다. 강력한 난방, 에칭, 프로그래밍 가능한 컨트롤러 시스템은 고급 집적 회로 (integrated circuit) 제작의 기대에 부응할 수 있는 이상의 성능을 제공합니다.
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