판매용 중고 DNS / DAINIPPON SP-W813-AS #9107314

DNS/DAINIPPON SP-W813-AS는 고품질 반도체 장치의 생산 라인을 위해 설계된 에처 및 애셔입니다. 직접 이온 빔 에칭 및 애싱 장비로 산화 (oxidation), 에칭 (etching), 도금 (plating) 과 같은 광범위한 장치 프로세스에서 활용 될 수 있습니다. 이 시스템은 고품질 반도체 장치 계층을 만드는 데 사용할 수있는 가장 진보된 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 기술을 사용합니다. 죽은 영역을 제거하고, 에치 (etched) 및 재 (ashed) 층의 변화를 최소화함으로써 매우 정확하고 균일한 퇴적을 달성한다. 이 장치는 레이저 유도 화학 증기 증착 (LCVD) 기술, 4 축 병렬 로봇 및 고정밀 미니어처 로봇을 사용하여 장치 층을 매우 정확하게 에칭 및 재싱합니다. 또한 3 차원 공간에서 중요한 이미징을위한 독특한 3D 이미징 카메라 머신을 갖추고 있습니다. 이 도구를 사용하면 데이터 검색 및 프로세스 피드백 제어를 위해 직접 이온 빔 (direct ion beam) 에 정확하게 초점을 맞추고 스캔할 수 있습니다. 또한, 이 자산은 고품질의 온도 조절 기술을 사용하여 고정밀 에칭 및 재싱을 보장합니다. DNS SPW-813AS는 고급 모션 제어 기술을 사용하여 동일한 X-Y-Z 공간 내에서 2 차원 가공소재 이동을 제어하는 매우 효율적인 모델입니다. 이 장비는 또한 자동 감지 및 부품 점검을위한 기계 비전을 통합합니다. DAINIPPON SPW813-AS 시스템은 일관된 성능과 유연성을 위해 설계되었습니다. 파퍼 (wafer) 에칭에서부터 집적 회로 (integrated circuit) 보드의 애싱 (ashing) 에 이르기까지 다양한 프로세스에 대해 설정할 수있는 광범위한 매개변수 데이터베이스가 있습니다. 또한, 이 장치 는 여러 가지 압력 환경 에서 "이온 '화 된 산소 에서 질소" 플라즈마' 에 이르는 여러 가지 처리 조건 에 적합 하다. 전반적으로 DAINIPPON SPW-813-AS는 강력한 에칭 및 애싱 머신으로, 고품질 반도체 장치 계층을 쉽게 만들 수 있습니다. 최고 수준의 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 기술을 활용하여 탁월한 결과를 제공합니다. 고품질 반도체 장치의 생산 라인을 위해 특별히 설계되었습니다.