판매용 중고 DNS / DAINIPPON / SCREEN SPW-813 #9402412

DNS/DAINIPPON/SCREEN SPW-813은 DNS, SCREEN 및 DAINIPPON의 합작 투자가 설계하고 제조 한 고성능 에처/애셔입니다. PC 제어 SMIF 포드 장비로 구동되는 컴팩트하고 신뢰할 수있는 장치입니다. 에처는 재료 제거, PECVD 및 유전체 재싱과 같은 프로세스에 사용됩니다. DNS SPW-813은 8 인치 직경 200mm 수직 에처 및 애셔입니다. 공구 거리 (500mm) 에 대한 최적의 소스가 있으며 조정 가능한 프로세스 시간은 0-60 초입니다. 여기에는 각각 고유 한 기능을 가진 2 개의 공정 챔버가 장착되어 있습니다. 첫 번째 챔버는 반응성 이온 에칭 (RIE), 등방성 에칭 및 다운 스트림 플라즈마 처리에 사용됩니다. 다른 약실 은 유전체 발작 을 위한 것 이며, 완전 한 공정 "레시피 '나 수동" 컨트롤' 을 처리 할 수 있다. SCREEN SPW 813 (SCREEN SPW 813) 은 다양한 공정 가스 및 화학 물질을 제공하며, 높은 반복성과 높은 수율을 제공할 수 있습니다. 스마트 챔버 컨테인먼트 시스템 (Smart Chamber Containment System) 이 장착되어 있어 웨이퍼의 배치 및 인라인 처리가 가능합니다. 완벽하게 자동화된 운영, 직관적인 GUI (Graphical User Interface), 고급 프로세스 제어 (Process Control) 및 신뢰성 있는 운영 방식을 결합하여 운영 환경에 적합한 솔루션입니다. '신뢰성' 과 '성능' 을 결합하면 다양한 반도체 제품을 대량으로 생산할 수 있습니다. SPW-813은 사용하기 쉽고 유지 관리가 용이합니다. 에치 (etch) 및 애셔 (asher) 프로세스 동안 실시간 피드백을 제공하는 친숙한 사용자 인터페이스와 내장 모니터가 있습니다. 모니터링 장치는 프로세스 시간, 온도 변화 속도, 소스에서 타겟까지의 거리 (distance of the source to target) 와 같은 정보도 제공합니다. 또한 프로세스 경보 (process alarm) 및 경고 (warning) 와 같은 다양한 작동 진단을 통해 높은 수율과 신뢰성을 보장합니다. SPW 813은 친환경적인 장치입니다. Energy Star 등급이 있으며 SMIF Pod 머신을 사용하여 전반적인 전력 소비를 줄입니다. 이 장치는 RoHS 규격을 준수하므로 환경에 위험한 물질이 없습니다. 공구에서 가스를 완전히 추출하고, 입자 생성을 최소한으로 유지할 수 있는 기능이 있습니다. DAINIPPON SPW-813 (DAINIPPON SPW-813) 은 반도체 산업의 높은 기대를 충족시키기 위해 제조 된 강력하고 신뢰할 수있는 에처입니다. 반복 가능한 결과와 높은 수율로 고성능 에치 (etch) 및 애셔 (asher) 프로세스를 제공 할 수 있습니다. 고급 프로세스 제어 자산 (process control asset) 과 친숙한 사용자 인터페이스를 통해 다양한 반도체 제품의 고품질 생산을 일관되게 수행할 수 있습니다.