판매용 중고 DIONEX 2000 #9096845

디오넥스 2000 (DIONEX 2000) 은 반도체 제작에서 금속 성분의 초저온 에칭 및 재싱을 위해 특별히 설계된 에처/애셔입니다. 이 장비는 -180 ° C ~ + 1600 ° C의 온도를 유지 할 수 있으며 다중 레벨 온도 영역, 가스 흐름, 압력 제어 및 가스 퍼지 기능과 같은 다양한 프로세스 제어 옵션을 갖추고 있습니다. 시스템의 주요 구성 요소에는 진공 챔버, 펌프 및 스크러버, 공정 전극, 히터 및 컨트롤러, 펌프 오프 프로세스 제어, 냉각 장치 및 기타 하드웨어 구성 요소가 포함됩니다. 또한 각 프로세스의 온도, 압력 및 기타 값을 기록하기 위해 프로세스 매개변수 (process parameters) 를 모니터링하기 위한 컴퓨터 제어 디스플레이 (computer-controlled display) 와 데이터 획득 시스템 (data acquisition machine) 이 있습니다. 진공실에는 가스 입력, 전극, 흑연 보트 (graphite boat) 가 장착되어 기판을 효율적으로 적재하고 샘플 엔지니어링 검사를 할 수 있습니다. 공정 전극은 에치 (etch) 또는 애쉬 (ash) 공정을 촉진하는 반면 히터는 균일 한 온도 프로파일을 제공합니다. 냉각 장치는 챔버의 온도를 일정하게 유지합니다. 2000 년의 제어 도구 (control tool) 는 온도 정확도와 조절과 관련하여 높은 정밀도를 허용합니다. 여러 온도 영역 (temperature zone) 은 챔버 전체에 걸쳐 정확한 제어 프로파일을 제공하여 다양한 온도 프로파일을 원하는 대로 프로그래밍할 수 있습니다. 또한 약실 의 압력 을 미세 하게 제어 할 수 있으며, 필요 하다면 불활성 "가스 '로 약실 을 제거 할 수 있다. 방에는 긴급 정지 제어 (Emergency Stop Control) 및 가스 제거 (Gas Purging) 옵션을 포함한 여러 가지 안전 기능이 장착되어 있습니다. 또한 자산은 국제 표준기구 (International Standards Organization) 와 유럽 연합 (European Union) 의 안전 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. DIONEX 2000은 초저온 에칭 및 금속 재싱이 필요한 어플리케이션에 이상적인 선택입니다. 지능형 제어 모델 (Intelligent Control Model) 은 정확한 온도 조절 및 압력 수준을 보장하므로 반도체 제조를위한 매우 신뢰할 수있는 장비입니다. 안전성, 고성능, 손쉬운 작동을 통해 모든 유형의 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스에 이상적인 선택이 가능합니다.