판매용 중고 DIENER ELECTRONIC Tetra 45 #293801545
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ID: 293801545
Plasma system
Connections:
Gas: Swagelok, 6 mm
Power: 400 V, 16 A
Cable, 5 m
Exhaust: 38 mm
Tube, 5 m
Gas supply:
Mass Flow Control (MFC)
(3) Channels
Material: Stainless steel / Aluminium
Tolerance: 1%
Vacuum chamber:
Rectangular chamber with drawer
Material: Aluminium
Covering material: Aluminium glass panel
Volume: 45 L
Generator:
Frequency / Power
80 kHz / 0-1000 W
100 kHz / 0-500 W
13.56 MHz / 0-300 W
2.45 GHz / 0-850 W
Vacuum pumps:
LEYBOLD D65BCSPFPE Rotary vane pump
Exhaust filter
Suction power: 65 m³/h
Oil type: PFPE-Oil
RIE Electrode with gas shower
Pirani pressure gauge
Touch screen, 15"
PC
Operating system: Windows 10
Power supply: 400 V, 3 Phase, 50/60 Hz.
DIENER ELECTRONIC Tetra 45는 다양한 연구 및 산업 응용 분야에서 정밀 플라즈마 처리를 위해 설계된 최첨단 에처/애셔 장비입니다. 이 고급 도구는 다양한 기능과 기능을 제공하여 에칭 (etching), 서피스 처리 (surface treatment), 클리닝 프로세스 (cleaning process) 를 위한 다용도 및 효율적인 솔루션이 됩니다. Tetra 45의 주요 하이라이트 중 하나는 플라즈마 생성 및 제어 시스템입니다. 이 장치는 고급 RF (무선 주파수) 기술을 사용하여 다양한 처리 기술에 사용될 수있는 안정적이고 균일 한 플라즈마 (plasma) 를 만듭니다. 전원 수준 및 프로세스 매개변수 (PHP 3 = 3.0.8, PHP 4) 를 조정하면 플라즈마 특성을 세밀하게 조정하여 특정 애플리케이션에 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. DIENER ELECTRONIC Tetra 45는 또한 안정적이고 반복 가능한 처리 조건을 보장하는 강력한 진공 챔버 설계를 갖추고 있습니다. 이 챔버 (Chamber) 는 오염을 최소화하고 깨끗한 처리 환경을 보장하기 위해 고품질 재료와 정밀 부품을 갖추고 있습니다. 이를 통해 시스템은 일관된 결과를 제공하고 시간이 지남에 따라 높은 프로세스 반복성을 유지할 수 있습니다. 테트라 45 (Tetra 45) 는 고급 플라즈마 생성 기능 외에도 다양한 재료 및 응용 프로그램을 수용할 수있는 다양한 프로세스 가스 및 제어 옵션을 제공합니다. 사용자는 산소, 아르곤 (argon), 반응성 가스 (reactive gase) 와 같은 다양한 가스 중에서 선택하여 특정 에칭 또는 표면 변형 요구 사항을 위해 플라즈마 화학을 조정할 수 있습니다. 이 도구는 또한 정확한 가스 흐름 제어 및 압력 조절 메커니즘을 특징으로하여 정확하고 재현 가능한 처리 조건을 보장합니다. 또한 DIENER ELECTRONIC Tetra 45에는 최첨단 온도 조절 자산이 장착되어 있어 처리 중 기판 및 챔버 온도를 정확하게 관리 할 수 있습니다. 이 기능은 에칭 반응 (etching reaction) 의 속도와 균일성을 제어하는 동시에, 민감한 물질에 대한 열 손상을 방지하는 데 필수적입니다. 이 모델의 온도 조절 (Temperature Control) 기능은 전반적인 프로세스 안정성에 기여하며, 높은 품질의 결과를 일관되게 달성할 수 있습니다. Tetra 45의 또 다른 주요 장점은 사용자 친화적 인 인터페이스 및 소프트웨어 제어 장비입니다. 이 시스템은 직관적인 소프트웨어 (software) 를 갖추고 있어 사용자가 쉽게 처리 매개변수를 프로그래밍하고 모니터링할 수 있습니다. 소프트웨어 인터페이스는 실시간 데이터 시각화, 프로세스 모니터링, 진단 툴을 제공하여 사용자가 프로세스를 최적화하고 문제를 신속하게 해결할 수 있도록 지원합니다. 또한 DIENER ELECTRONIC Tetra 45는 유지 관리 및 서비스 용이성을 위해 설계되었으며, 액세스 가능한 구성 요소 및 모듈식 설계 기능을 통해 장치 유지 및 수리를 단순화합니다. 이 기계의 고품질 (High-Quality) 구성과 내구성 (내구성) 구성 요소는 장수와 신뢰성에 기여하여 장기적인 성능 및 운영 효율성을 보장합니다. 전반적으로 Tetra 45는 고급 플라즈마 처리 기능, 정확한 제어 옵션, 사용자 친화적 기능을 제공하는 최첨단 에처/애셔 (etcher/asher) 도구입니다. 다용도, 신뢰성 및 성능을 갖춘 DIENER ELECTRONIC Tetra 45는 고품질 플라즈마 처리 솔루션을 원하는 연구원과 업계 전문가에게 유용한 도구입니다.
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