판매용 중고 DENTON VACUUM Z-Flex #293798648

ID: 293798648
웨이퍼 크기: 12"
Ion Beam Deposition (IBD) system, 12" INFICON IC6 Quartz crystal rate controller with dual sensor head Single wafer load lock Water-cooled chamber (2) Sets of linear chambers (2) Turbo pumps (2) Dry scroll pumps Water pump Water cooled stage Wafer rotation speed: 15-35 RPM Turret with (4) Targets, 10" Deposition ion source: ICP RF Source: 14 cm Etch ion source: ICP RF Source: 36 cm.
DENTON VACUUM Z-Flex는 플라즈마 표면 처리 응용 프로그램을위한 고급 기능을 제공하는 최첨단 에처/애셔 장비입니다. 이 고효율적이고 안정적인 도구는 반도체, 마이크로 일렉트로닉스, MEMS/NEMS, 바이오 메디컬 (biomedical) 등 다양한 산업에서 원하는 표면 특성을 달성하기 위해 다양한 재료의 정확하고 통제 된 처리를 위해 설계되었습니다. Z-Flex 시스템의 핵심에는 최첨단 플라즈마 생성 기술이 있습니다. 이 장치는 고밀도 플라즈마 소스를 사용하여 일관성 있는 처리 결과를 보장하는 균일하고 안정적인 플라즈마 (plasma) 환경을 만듭니다. 플라스마 소스는 특정 요구 사항에 따라 표면 처리 과정을 조정하기 위해 밀도, 온도, 화학 등 플라즈마 매개변수를 제어하는 RF 생성기 (RF generator) 에 의해 구동됩니다. DENTON VACUUM Z-Flex 머신의 주요 기능 중 하나는 다양한 유형의 재료를 처리하는 유연성입니다. 유전체 재료, 금속, 반도체, 고분자 또는 세라믹이든, 공구 는 거칠기, 접착, 습기성, 화학 반응 과 같은 표면 특성 을 수정 하는 정확 한 식각/발작 과정 을 제공 할 수 있다. 이러한 유연성을 통해 사용자는 리서치/제조 프로세스에서 다양한 표면 수정 문제를 해결할 수 있습니다. 또한, Z-Flex 자산은 광범위한 표면 처리 옵션을 가능하게하기 위해 다양한 프로세스 가스 (process gase) 및 반응성 종 (reactive species) 을 제공합니다. 사용자는 산소, 아르곤, 질소, 기타 등의 다양한 가스 중에서 선택하여 공정 실 (process chamber) 내에서 화학 환경을 제어 할 수 있습니다. 또한, CF4, SF6 및 기타와 같은 반응 가스를 도입하여 특정 재료 유형에 대한 에칭/애싱 기능을 향상시킬 수 있습니다. 이 모델에는 고급 프로세스 모니터링 및 제어 (Control) 기능이 장착되어 있어 정확하고 재현 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 가스 유량 (gas flow rate), 압력 (pressure), 전원 수준 (power level) 및 온도 (temperature) 와 같은 플라즈마 매개변수를 실시간으로 모니터링하면 프로세스 조건을 최적화하여 표면 처리의 효율성을 극대화할 수 있습니다. 이 장비에는 자동화된 프로세스 레시피 (process recipe) 와 제어 소프트웨어 (control software) 가 포함되어 있어 작업을 간소화하고 사용자의 개입을 줄여 일관되고 반복 가능한 결과를 쉽게 얻을 수 있습니다. 안전성과 편의성 측면에서 DENTON VACUUM Z-Flex 시스템은 사용자 친화적 인 기능과 강력한 구성으로 설계되었습니다. 이 장치에는 안전 인터 록 (Safety Interlock), 비상 정지 버튼 및 경보가 장착되어 작동 중 운영자의 안전을 보장합니다. 챔버 (Chamber) 설계는 샘플을 손쉽게 로드하고 언로드할 수 있도록 최적화되었으며, 유지 보수 작업이 단순화되어 다운타임이 최소화되고 생산성이 극대화됩니다. 전반적으로 Z-Flex etcher/asher 기계는 다양한 산업에서 정확한 표면 처리 응용을위한 다재다능하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 고급 플라즈마 (Plasma) 세대 기술, 다양한 재료 처리 유연성, 종합적인 프로세스 제어 기능을 갖춘 이 툴은 높은 효율성, 반복성, 탁월한 표면 수정 결과를 얻을 수 있는 강력한 솔루션을 제공합니다.
아직 리뷰가 없습니다