판매용 중고 DENTON VACUUM Infinity FA #293798635

소개 DENTON VACUUM Infinity FA는 기판의 정확하고 균일 한 플라즈마 처리를 위해 설계된 최첨단 에처/애셔 장비입니다. 이 다목적 툴은 고급 기술과 사용자 친화적 기능을 결합하여 반도체, MEMS, optics, 기타 업계의 다양한 애플리케이션에 걸쳐 고성능 (HPI) 결과를 제공합니다. 혁신적인 디자인과 최첨단 기능을 갖춘 Infinity FA는 양 (volume) 생산 환경뿐만 아니라 연구 개발 (Research and Development) 을 위한 필수 도구입니다. 주요 기능 DENTON VACUUM Infinity FA는 최적 프로세스 제어 및 반복성을 위해 매우 높은 진공 수준을 유지하도록 설계된 강력하고 안정적인 진공실을 갖추고 있습니다. 이 챔버에는 과압 방지, 진공 인터 록 (vacuum interlock), 비상 정지 기능 (Emergency Stop Function) 등 다양한 고급 안전 기능이 장착되어 운영 중 운영자의 안전을 보장합니다. 또한 간편한 유지 보수 및 서비스를 위한 빠른 액세스 포트, 다운타임 최소화, 생산성 극대화 등의 기능을 제공합니다. 인피니티 FA (Infinity FA) 의 심장은 고급 플라즈마 소스이며, 전체 기판 표면에서 매우 균일 한 플라즈마를 생성합니다. 이 플라즈마 소스는 고주파 RF 생성기로 구동되며, 이는 전력, 가스 흐름, 압력 등의 프로세스 매개 변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. RF 생성기에는 자동 매칭 네트워크 (automatic matching network) 및 임피던스 튜닝 (impedance tuning) 기능이 장착되어 있어 최대 전력 전송 효율과 안정적인 플라즈마 작동을 보장합니다. DENTON VACUUM Infinity FA는 또한 공정 가스와 혼합물을 정확하게 제어 할 수있는 다목적 가스 전달 시스템을 갖추고 있습니다. 이 장치에는 정확한 가스 흐름 조절을위한 질량 흐름 컨트롤러 (Mass Flow Controller) 와 맞춤형 가스 혼합물 생성을위한 다중 가스 분사 기계 (Multi-gas Injection Machine) 가 포함되어 있습니다. 이러 한 유연성 을 통해, "플라즈마 '화학 을 섬세 한 물질 을 집어 넣거나, 박막 을 증착 시키든지, 특정 한 요구 조건 에 맞게 조정 할 수 있다. 인피니티 FA (Infinity FA) 는 고급 플라즈마 소스 (Plasma Source) 및 가스 전달 도구 외에도 다양한 프로세스 모니터링 및 제어 툴을 갖추고 있어 일관되고 안정적인 결과를 제공합니다. 이러한 도구에는 플라즈마 종의 실시간 모니터링을위한 광학 방출 분광학 (OES) 과 에칭 및 애싱 프로세스의 정확한 제어를위한 엔드 포인트 감지 기능 (endpoint detection) 이 포함됩니다. 이 자산은 또한 고급 레시피 관리 소프트웨어 (Advanced Recipe Management Software) 를 통해 복잡한 프로세스 시퀀스를 프로그래밍하고 저장하여 손쉽게 검색하고 실행할 수 있습니다. 응용 프로그램 DENTON VACUUM Infinity FA는 RIE (Reactive Ion Etching), PECVD (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition) 및 Plasma Cleaning/ashing 등 다양한 플라즈마 처리 응용 분야에 적합합니다. 다재다능한 디자인 및 고급 기능을 통해 반도체, MEMS, 광학, 나노 기술 분야의 최첨단 기술을 연구하는 연구 실험실, 대학, 생산 시설에 이상적인 도구입니다. 결론 결론적으로, Infinity FA는 광범위한 플라즈마 처리 어플리케이션에 탁월한 성능, 유연성, 신뢰성을 제공하는 고도의 etcher/asher 모델입니다. 혁신적인 디자인, 최첨단 기술, 사용자 친화적인 기능을 통해, 제어된 진공 환경에서 정확하고 반복 가능한 결과를 얻고자 하는 연구자, 엔지니어, 제조업체에 유용한 툴이 됩니다. 차세대 반도체 장치를 개발하거나 재료 과학에 대한 기본 연구를 수행하는지 여부에 관계없이 DENTON VACUUM Infinity FA (DENTON VACUUM Infinity FA) 는 모든 플라즈마 처리 요구에 이상적인 선택입니다.