판매용 중고 DENTON VACUUM DFE 3 #126422

DENTON VACUUM DFE 3은 다양한 에칭 및 애싱 응용 프로그램을 위해 설계된 다목적 고속 에처/애셔입니다. 저렴한 비용과 우수한 프로세스 품질 (process quality) 을 제공하여 많은 운영 라인에서 효율적인 선택이 가능합니다. DFE 3에는 12 인치 에칭 및 애싱 챔버가 장착되어 있으며, 질소, 산소, 아르곤 및 수소를 포함한 다양한 가공 가스와 호환됩니다. 이것은 광범위한 에칭 작업에 이상적입니다. 또한, 장비는 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 프로세스 모두에서 고품질의 반복성과 재생성을 제공합니다. DENTON VACUUM DFE 3는 프로세스 제어를 위한 고급 기술을 제공합니다. 여기에는 피드백 루프 시스템, 조정 가능한 흐름 밸브, 전체 온도 제어 프로토콜 등의 기능이 포함됩니다. 즉, 프로세스를 클라이언트의 요구에 맞게 구체화하여 최고의 프로세스 제어 (process control) 기능을 제공합니다. 이 장치에는 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 정확하게 제어하기 위해 2 개의 독립적 인 공정 가스 밸브가 장착되어 있습니다. 이 기능 은 1 "미크론 '의 수은 에서 10" 미크론' 에 이르는 저압 에 도달 할 수 있는 견고 한 진공실 로 보완 된다. 마지막으로, DFE 3은 로드 포트 (load port) 및 샘플 픽업 핀 (sample pick-up pin) 과 같은 다양한 보조 도구뿐만 아니라 유체와 유사한 정밀 동작 제어 기계를 제공합니다. 요약하면, DENTON VACUUM DFE 3는 고품질의 결과, 반복 가능성 및 재생성을 제공하는 강력하고 비용 효율적인 etcher/asher입니다. 다양한 고급 프로세스 제어 (advanced process control) 를 통해 설계되었으며, 정확한 에칭 및 애싱 프로세스를 지원합니다. 또한, 진공실 에서 낮은 압력 에 도달 할 수 있으며, "액세서리 '를 공급 하여 최후 의 공정" 컨트롤' 을 제공 한다.