판매용 중고 CORIAL D500 #9386289

CORIAL D500 은 하이엔드 구성요소를 처리하기 위한 탁월한 정밀도로 설계된 에칭/애싱 (eching/ashing) 장비입니다. 탁월한 반복성 (repeatability) 과 프로세스 제어 (process control) 기능을 제공하는 컴팩트하고 견고한 시스템으로, 다양한 프로세스 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 이 단위는 미세 입자 침전물을 피하기 위해 등각 코팅이있는 고정밀 모듈 식 단일 또는 이중 레벨 진공 챔버 (ban-level vacuum chamber) 로 구성됩니다. 이 기계는 또한 폐쇄 루프 (closed loop) 제어를 위한 정확한 온도 및 압력 센서를 장착하여 효율적이고 정확한 프로세스 조건 모니터링 및 제어를 지원합니다. D500 웨이퍼 에처는 실리콘 웨이퍼, 실리카, 쿼츠, 알루미늄, 반 절연 기판, 절연 재료 등 다양한 기질을 식각 할 수있는 다목적 도구입니다. 이 프로세스는 유전층 및 TSV (Through Silicon Via) 구조의 다중 계층 구조를 에치 할 수도 있습니다. 자산은 저압 또는 고압 에칭 프로세스로 구성 가능하며 자동 웨이퍼 (wafer) 처리 및 기판 사전 처리를 지원합니다. 모델 디자인은 또한 습식 에칭 (wet etching), 염소 가스 또는 AJA 에칭을 사용할 수있는 깊은 에칭 (eching) 과 같은 공격적인 화학 물질을 갖는 프로세스에 대해 교환 가능한 공정 챔버를 허용합니다. 이 장비에는 빠르고 정확한 에칭 (etching) 프로세스를 제공하는 초미세 모션 매핑 (ultrafine motion mapping) 기술이 있어 패턴화 된 웨이퍼와 템플릿 웨이퍼 간의 성공적인 프로세스를 보장합니다. CORIAL D500은 에치 마스크 (etch mask) 를 사용하여 패턴 된 기판 재료를 정확하게 오버레이 정렬하기 위해 고급 마스크 정렬 기술을 갖추고 있습니다. 이것은 단면 또는 양면 기판에서 정확하고 반복 가능한 에칭 프로세스를 용이하게합니다. 또한, 이 시스템에는 식각 정확도 및 재생성을 높이기 위해 프로세스 중 결함 모니터링 장치가 있습니다. D500은 연구 개발 cryo 및 드라이 에칭 응용 프로그램 (dry etching application) 과 저량 및 대량 생산에 적합합니다. 이 기계는 고유한 기능을 통해 높은 정확도, 정확성, 견고성, 탁월한 프로세스 제어를 제공합니다. CORIAL D500은 현대 반도체 산업의 까다로운 프로세스 요구 사항에 완벽한 선택입니다.