판매용 중고 CORIAL 300 iL #9272971

CORIAL 300 iL은 반도체 산업에 배치 된 고급 에칭 및 애싱 장치입니다. 플랫폼은 짧은 에칭 (etching) 및 애싱 사이클 (ashing cycle) 을 제공하여 정확성과 반복성이 높으며 고품질 표면 마무리를 제공합니다. CORIAL 300은 싱글 크리스탈 웨이퍼 (singlecrystal wafers) 에서 멀티 사이트 포토 esist 코팅에 이르기까지 광범위한 에칭 및 애싱 요구를 위해 설계되었습니다. 염소 기반 에칭, 실리콘 에칭 및 이온 밀링을 포함하여 CORIAL 300에서 다양한 프로세스를 수행 할 수 있습니다. CORIAL 300의 플랫폼은 또한 뛰어난 프로세스 반복성을 제공합니다. 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 도구는 에치 조건을 변경할 때에도 처리 온도를 점검하는 정교한 냉각 시스템을 갖추고 있습니다. 이를 통해 연산자는 여러 조건에 걸쳐 동일한 수의 사이트를 유지할 수 있습니다. CORIAL 300에는 종합적인 애싱 (ashing) 기능과 웨이퍼 간 교차 오염을 방지하는 내장 기능도 있습니다. 300 iL은 주 챔버를 배치 할 때 600 x 600 밀리미터의 표준 챔버 크기와 1 미크론의 공차를 갖습니다. 자동 4 단계 프로세스에는 사전 청소, 에치 단계, 에치 후 청소 및 에치 후 재시가 포함됩니다. 이 프로세스는 일련의 프로그래머블 로직 컨트롤러 (programmable logic controller) 에 의해 제어되며, 시퀀스를 완벽하게 실행하도록 프로그래밍할 수 있습니다. CORIAL 300은 3 상 AC 입력으로 편리하게 구동되며, 전력 소비량은 0.5kW 미만입니다. CORIAL 300의 작동 주변 온도는 15 ° C ~ 40 ° C이며 상대 습도는 10-90% 입니다. CORIAL 300은 또한 저소음 작동을 제공하며, 1 미터 거리에서 음압 수준은 62 dBA입니다. CORIAL 300을 최대 (peak) 상태로 유지하려면 연산자가 필요할 때 유지 관리를 수행해야 합니다. CORIAL 300 을 최신 상태로 유지하려면 소프트웨어를 정기적으로 업데이트하여 최적의 성능을 보장해야 합니다 (영문). 전반적으로 CORIAL 300 iL은 고급 에칭 앤 애싱 (eching and ashing) 장치로, 뛰어난 프로세스 반복성과 고품질 결과를 제공 할 수 있습니다. 정교한 냉각 시스템, 자동화된 4 단계 프로세스, 저소음 작동으로 인해 반도체 업계에 이상적인 선택이 됩니다.