판매용 중고 CORIAL 300 iL #9272962

CORIAL 300 iL은 고출력 유도 형 플라즈마 에처 및 애셔 장비입니다. 이 시스템은 특허받은 유도 형 플라즈마 발전기를 활용하여 기존의 정전식 결합 시스템보다 더 높은 플라즈마 이온화 (plasma ionization) 수준을 제공함으로써 탁월한 성능과 신뢰성을 제공합니다. 결과적으로, 그것은 광범위한 재료의 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 모두에 효과적임이 입증되었습니다. 300 iL (300 iL) 은 가스 전달을 정확하게 제어하고, 안정적이고 균일 한 플라즈마 밀도를 생성하며, 매우 매끄럽고 재현 가능한 플라즈마 프로파일을 제공하는 소형 펄스 형성 발전기를 특징으로합니다. 발전기는 또한 여러 개의 가스 종과 가스를 지원하며, 하나의 단위로 에칭 및 애싱 (ashing) 을 허용합니다. 에치 챔버 (etch chamber) 에는 완전 진공로드 잠금 장치 (full vacuum load lock) 가 장착되어 있어 빠르고 효율적인 샘플 로드 및 언로드가 가능합니다. 챔버는 또한 빠르고, 균일하고, 안정적인 샘플 에칭 및 재싱을위한 멀티 스테이지 펌핑 머신을 자랑합니다. 또한 일관되고 반복 가능한 프로세스를 보장하기 위해 가스 혼합 매니 폴드가 있습니다. CORIAL 300 iL은 차세대 유도 형 플라즈마 에칭 및 애싱 경험을 제공하며, 높은 정확도와 반복성이 필요한 반도체 프로세스에 이상적입니다. 탁월한 프로세스 제어, 높은 처리량, 효율적인 가스 1브레이션을 갖춘 이 툴은 모든 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 요구 사항에 뛰어난 성능을 제공합니다.