판매용 중고 CORIAL 300 iL #9272952

CORIAL 300 iL은 다양한 기판을 에칭하고 세척하도록 설계된 에처/애셔입니다. 이 제품은 소형의 공간 절약형 설계를 자랑하며, 강력한 잠금 메커니즘은 효율적이고 안전한 작동을 보장합니다. 300 IL은 중대형 실험실에 적합하며, 높은 정밀 작업과 강력한 안전 기능을 제공합니다. CORIAL 300 iL에는 고출력, 핫 필라멘트 에칭 장비가 장착되어 있으며, 스펙트럼 음극 소스는 최대 10 A의 제어 가능한 빔 전류를 제공하며, 광범위한 빔 에너지 수준을 제공합니다. 정밀도 및 속도는 CORIAL 독립 기계 및 광학 초점 시스템으로 즉시 조정할 수 있습니다. 2 배 보호 기술로 최고 수준의 정확도를 달성 할 수 있으며, 에칭 정밀도가 높고 가장자리 정의가 최대 ± 2 '인 균일 한 레이어를 제공합니다. 이 장치는 또한 현장 가스 흐름 모니터링 및 제어를 특징으로하며, 최대 2000 ° C의 에칭 온도를 제공합니다. 옵션 및 통합 터보 분자 펌프 (turbomolecular pump) 는 7.5m의 압력에서 최대 5 sccm의 가스 변화를 가능하게하며, 최대 250 개의 에치 이득을 제공합니다. 이 통합 터보 분자 펌프는 또한 높은 처리량 생산 솔루션에 사용할 수 있습니다. 300 IL에는 개별 지역 셔터, 가스 관입기, 대피 다리, 압력 제어 등 고급 안전 시스템이 통합되어 있습니다. 이를 통해 공구의 안전한 작동, 잠재적 위험 제거, 최고 수준의 안전 (safety) 을 보장할 수 있습니다. 또한, 고급 제어 자산은 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 자체 진단 및 소프트웨어 업데이트를 제공합니다. CORIAL 300 iL은 최고 수준의 에칭 및 처리 품질을 제공하며, 반도체, MEM 및 나노 구조 제작 분야의 심층 에치 및 애싱 응용 분야에 이상적인 도구입니다. 강력한 성능과 안전 기능을 결합한 컴팩트한 디자인으로 300 iL (iL) 은 최고의 품질의 결과를 정확하고 효율적으로 제공할 수 있습니다.