판매용 중고 CORIAL 300 iL #9272940

CORIAL 300 iL Endpoint Etcher/Asher는 웨이퍼 에칭 및 스트리핑 산업을 위해 설계된 정밀 배치 애셔입니다. 300 IL은 자동화된, 완전 캡슐화 된, 저진동 및 저가스 열 장치로, 에칭 및 청소 재료를 매우 단단히 제어 할 수 있습니다. 이 장비는 중앙에서 특허를 획득한 다방향 노즐 시스템과 대용량 SiC 히터를 갖추고 있습니다. CORIAL 300 iL Endpoint Etcher/Asher 는 디바이스의 처리량 및 품질 향상을 위해 설계된 다양한 기능을 제공합니다. 이 장치는 매우 반복 가능한 엔드 포인트를 제공 할 수 있으며, 가능한 오류는 0.1 m/cm입니다. 8 개의 프로그래밍 가능한 영역과 최대 10 개의 공정 레시피를 메모리에 저장하면 300 iL (iL) 은 기존의 배치 애셔에 의해 탁월한 유연성과 정밀도를 제공합니다. 기계는 또한 기질 전체에서 ± 2 ° C의 온도 균일 성과 2 ° C ~ 200 ° C의 온도 범위를 제공합니다. CORIAL 300 iL 내에서 사용될 수있는 공정 가스는 질소, 아르곤, 포름산 및 아세톤에서 다양합니다. 공구에는 비활성 가스 공급 (Inert Gas Supply) 및 퍼지 메커니즘 (Purge Mechanism) 이 장착되어 있어 각 공정 레시피에 대해 프레시 가스를 플러시하여 최고 수준의 오염 제어를 제공합니다. 300 IL에는 긴급 정지, 가스, 전원 스위치 끄기, 저전압, 고전류 온도 차단 스위치 등 다양한 안전 기능이 있습니다. 이 모델은 또한 가청 및 시각적 경보를 특징으로하여 운영자에게 경보 조건을 경고합니다. 이 장비는 내구성 CERTACHROM 스테인리스 스틸로 구성되어 있으며, 또한 구성 가능합니다. 시스템에 다양한 웨이퍼 홀더를 설치할 수 있으며, CORIAL 300 iL 의 이더넷 접속 (Ethernet connection) 을 사용하여 고객의 기존 인프라에 장치를 통합할 수 있습니다. 결론적으로 300 iL Endpoint Etcher/Asher는 에칭 및 스트리핑 산업에 유연하고 정밀하며 안전한 솔루션을 제공합니다. 뛰어난 정확도, 반복성 및 온도 조절 기능을 갖춘 CORIAL 300 iL은 제어, 현지화, 다단계 에칭 또는 스트리핑이 필요한 모든 프로세스에 적합합니다.