판매용 중고 CORIAL 300 iL #9272935

CORIAL 300 iL etcher/asher는 높은 처리량 어플리케이션을 위해 설계되었으며 뛰어난 전송 특성을 제공합니다. 로딩 잠금 장치 8 개가있는 300mm 공정 챔버를 갖추고 있으며, 편리한 웨이퍼 로딩 및 언로드를 위해 24 개의 웨이퍼 어댑터 로봇이 장착되어 있습니다. 300 iL (300 iL) 에는 프로세스 인터페이스 및 유연한 레시피 구성을 위해 여러 통신 인터페이스가 장착되어 있으므로 다양한 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 프로세스에 적응할 수 있습니다. 코리얼 300 iL (CORIAL 300 iL) 은 고정밀 공정을 위해 설계되었으며, 지속적으로 높은 에치 균일성을 보장하는 여러 가지 자동 기능으로 설계되었습니다. 첨단 모터 제어 시스템은 최소 진동 및 열 왜곡으로 고속, 정확성을 보장합니다. 처리율이 높을수록 프로세스 시간이 단축되고 전체 처리량이 늘어납니다. 300 iL은 산소 (O2), 질소 (N2), 이산화탄소 (CO2), 아르곤 (Ar) 및 실란 (SiH4) 과 같은 다양한 공정 가스 및 화학 물질을 지원합니다. CORIAL 300 iL은 압력, 온도 및 진공을 자동으로 제어하여 완전히 자동화됩니다. 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스 동안 정확하고 반복 가능한 동적 제어를 위해 자동 가스 흐름 제어 시스템을 갖추고 있습니다. "챔버 '설계 는 공정" 챔버' 에 쉽게 접근 할 수 있게 해 주며, "가스 '를 효과적 으로 억제 하여 안전 하고 사용 하기 에 효율적 이다. 300 iL은 프로세스 측정 및 다운타임 최소화를 제공합니다. 이 제품은 압력 (Pressure), 누출 모니터링 (Leakage Monitor) 등 다양한 안전 기능을 통합하여 기존 운영 환경에 손쉽게 통합할 수 있습니다. 시스템의 다중 통신 인터페이스 (Multiple Communication Interface) 는 다른 시스템과 호스트 컴퓨터 간에 쉽게 통신할 수 있으므로, 효율적인 자동 프로세스 제어가 가능합니다. 전반적으로 CORIAL 300 iL etcher/asher는 고정밀 에치 및 애싱 프로세스를 찾는 사용자에게 적합한 선택입니다. 고급 기능은 일관되게 높은 에치 (etch) 균일성을 보장하며 프로세스 시간과 다운타임을 크게 줄여줍니다. 또한, 여러 통신 인터페이스를 통해 기존 운영 환경에 손쉽게 통합할 수 있으며, 효율적인 자동 프로세스 제어 기능을 제공합니다.