판매용 중고 CORIAL 300 iL #9267214

CORIAL 300 iL은 광범위한 마이크로 일렉트로닉 응용 프로그램을위한 고성능 에처/애셔입니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 알루미늄, 텅스텐, 폴리 이미드, 구리 및 실리콘을 포함한 다양한 재료와 에치를 사용하여 다양한 포토 esist 에칭 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 300 iL은 최대 750mm 크기의 기판을 처리할 수 있으며, 최대 200 ° C의 공정 온도와 최대 850mbar의 추진제 압력을 가질 수 있습니다. 에처는 또한 정확한 온도 조절을 특징으로하여 최대 ± 0.03 ° C의 정밀도를 처리할 수 있습니다. 모듈식 공정 챔버 설계는 +/- 0.9% 로딩의 균일성 기준 (uniformity criteria) 과 우수한 열 성능을 위한 완전한 질화물 격리 (full nitride isolation) 를 통해 안정적이고 고품질의 결과를 보장합니다. 코리얼 300 iL (CORIAL 300 iL) 은 견고성 강화 (rugged construction) 를 가지고 있으며, 서로 다른 기판 및 에치에 동시에 사용할 수있는 독립 처리 영역에 대한 라운드 로빈 구성으로 장기 사용에 적합합니다. 에처에는 또한 분리 된 FPT 스위처블 가스 피드 패널 (FPT Switchable Gas Feed Panel) 이 있어 가스가 빠르게 변경되어 다운타임을 최소화합니다. 300 iL 은 사용자 친화적 인 프로세스 소프트웨어 제품군을 갖추고 있어, 시운전 및 전문가를 손쉽고 편리하게 운영할 수 있습니다. 프로세스 제어 소프트웨어에는 통합 프로세스 레시피, 유효 주기 시간 최적화, 범용 매개변수 매핑, 고급 흐름 제어 등이 포함됩니다. CORIAL 300 iL (CORIAL 300 iL) 은 뛰어난 프로세스 성능과 신뢰성을 갖춘 고급 etcher/asher로, 고급 산업 및 연구 어플리케이션에 적합합니다. 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 및 MEMS 컴포넌트 등 기판 에칭을 위한 높은 수준의 유연성과 기능을 제공합니다.