판매용 중고 CORIAL 300 iL #293818173

CORIAL 300 iL은 정밀 박막 처리를 위해 설계된 고성능 에칭 및 애싱 장비입니다. 이 시스템은 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스에서 최고 수준의 정밀도를 달성할 수 있도록 설계되었으며, 뛰어난 프로세스 제어를 유지합니다. 기판에 정밀한 빔 이온 스트림을 제공하기 위해 높은 에너지 중심의 이온 빔 (FIB) 소스가 있습니다. 또한, FIB 는 금, 구리, 흑연, 규소 등 매우 다양 한 재료 를 매우 정확 하게 가공 할 수 있게 해 줍니다. 또한 특허 받은 ART (Advanced Recipe Technology) 를 통해 위치 정확도가 높은 패턴을 만들 수 있습니다. 재싱을 위해 300 iL은 마이크로파 RF와 빠르게 가열 가능한 에치 챔버 (Etch Chamber) 를 사용하여 포토 esist 및 기타 재료를 빠르고 효율적으로 제거합니다. 이 장치는 또한 최적의 성능에 이상적인 온도에서 에치 (etch) 또는 애쉬 (ash) 공정이 완료되도록 고효율 냉각기를 갖추고 있습니다. 또한 CORIAL 300 iL은 병렬 에칭 및 애싱, 순차 에칭 및 애싱, 높은 에칭 속도 등 여러 모드에서 작동 할 수 있습니다. 이러한 유연성은 미세 전자공학의 미세 패턴 (fine-line pattern) 및 장치 구조 (device structure) 제작과 같은 응용 분야에 이상적입니다. 또한, 이 도구는 각 프로세스 단계를 제어하기 위해 사용하기 쉬운 GUI (Graphical User Interface) 를 제공하며, 강력한 마이크로프로세서와 온보드 컴퓨터를 장착하여 실시간 프로세스 제어를 향상시킵니다. 300 iL은 정밀 에칭 및 애싱 프로세스를 실행하는 신뢰할 수있는 도구입니다. 높은 이온 빔 강도, 빠른 마이크로파 애싱, 신뢰할 수있는 냉각 자산, 고급 레시피 테크놀로지 (Recipe Technology) 의 조합은 안정적인 프로세스 제어와 뛰어난 균일성을 보장합니다. 또한, 이 모델은 완전히 구성이 가능하며, 최신 구성 프로세스의 변화하는 요구 사항에 부응할 수 있습니다.