판매용 중고 CORIAL 300 iL #293695744

CORIAL 300 iL은 고성능 에칭 및 애셔 장비입니다. 탁월한 유연성과 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 어플리케이션을 위한 광범위한 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 300 iL의 독특한 디자인은 강철, 유리, 도자기 및 반도체 기판에 이르기까지 다양한 재료의 에칭 및 애싱에 특히 적합합니다. 이 시스템에는 고급 옵티컬 및 드라이 에칭 (dry etching) 기술이 장착되어 있어 뛰어난 유닛 아키텍처와 프로세스 제어를 제공합니다. CORIAL 300 iL은 플라즈마 소스를 특징으로하여 로우 에칭 윈도우에서 고 rf-파워까지 넓은 에칭 창을 가능하게합니다. rf-source 는 시스템에 영구적으로 통합되어, 전용 제어 소프트웨어를 사용하여 빠르고 간편한 Tool Activation (도구 활성화) 및 레시피 설정 (레시피 설정) 기능을 제공합니다. 300 iL은 또한 빠른 열 어닐링 프로세스를 할 수 있습니다. 핫플레이트가 특징이며, 빠른 응답 시간과 함께 최대 700 ° C까지 가열됩니다. 이를 통해 온도 안정화와 프로세스 반복성이 향상됩니다. 에셋 (Asset) 은 또한 높은 불투명도 보호 필터를 갖추고 있으며, 에칭 및 재싱 시 광학 요소를 보호합니다. 이를 통해 모델 내구성을 보장하여 운영자의 유지 관리 비용을 최소화할 수 있습니다. 휘발성 유기 성분 (VOC) 의 감소는 CORIAL 300 iL의 주요 특징 중 하나입니다. 닫힌 프로세스 챔버 (closed process chamber) 를 사용하면 더 높은 수준의 프로세스 자동화 및 용매 기반 클리닝 후 프로세스 감소가 가능합니다. 이 장비에는 원격 진단 (Remote Diagnostics) 및 원격 서비스 (Remote Service) 기능도 포함되어 있어 가동 시간이 많이 걸리고 유지 보수 비용이 절감됩니다. 300 iL은 광범위한 ICP-CF4 에칭 프로파일 및 에칭 균일성을 제공합니다. 사용자 친화적인 운영 및 강력한 프로세스 제어 (process control) 기능을 통해 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 어플리케이션에 적합합니다.