판매용 중고 CORIAL 300 iL #293672290
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CORIAL 300 iL은 고품질 전자 및 광전자 부품 제조를 위해 설계된 유도 결합 플라즈마 (ICP) 에치 장비입니다. 이 시스템은 실리콘 웨이퍼, III-V 화합물 반도체, 산화물, 광자유와 같은 물질의 정확한 에칭을 허용합니다. 300 IL에는 강력한 ND: YAG 레이저 소스가 장착되어 있어 다양한 깊이와 해상도에서 마이크로 장치 패턴을 가져올 수 있습니다. 사용자가 원하는 프로세스 조건을 충족하기 위해 레이저 에너지 (laser energy), 펄스 지속 시간 (pulse duration), 챔버 가스 구성 (chamber gas composition) 과 같은 에칭 매개변수를 사용자 정의할 수 있으므로 에칭 프로세스를 매우 조정할 수 있습니다. CORIAL 300 iL에는 프로세스 정확성과 반복성을 보장하기 위해 몇 가지 다른 중요한 구성 요소가 있습니다. 여기에는 이온 감지 장치, 고급 압력 제어 장치 (Advanced Pressure Control Machine) 및 고급 진공 도구가 포함되며, 모두 에칭 정밀도를 보장하기 위해 함께 작동합니다. 컨트롤 인터페이스 (Control Interface) 는 편리한 메뉴 탐색과 터치에 민감한 LCD 디스플레이를 특징으로 하며, 이러한 LCD 디스플레이는 사용자가 자산을 간편하게 제어할 수 있도록 해줍니다. 또한, 이 모델의 소프트웨어는 etch 정확성과 반복성에 대한 Sematech의 표준을 준수합니다. 강력한 빌드 및 다양한 기능으로 인해 300 iL은 모든 에치 (etch) 어플리케이션에 적합합니다. 이 장비는 광범위한 재료를 처리 할 수있는 반면, 유연한 에칭 (etching) 매개변수를 사용하면 거의 모든 에칭 (etching) 응용 프로그램에 대해 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 정확한 에칭 결과를 얻기 위해 신뢰할 수있는 시스템이 필요한 에처 (etchers) 와 애셔 (ashers) 는 CORIAL 300 iL의 많은 기능을 확실히 인식 할 것입니다.
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