판매용 중고 CORIAL 300 iL #293671933

CORIAL 300 iL etcher/asher는 다양한 재료에서 패턴 화 된 표면을 만드는 데 사용되는 고정밀도, 완전 자동화 된 멀티 챔버 도구입니다. 전자 현미경, 의료 기기, MEMS, 마이크로 일렉트로닉 산업 등 여러 산업에서 고성능, 금속 부품 생산을 위해 설계되었습니다. 300 iL은 다중 처리 실, 다양한 에칭 및 증착 가스, 통합 OES 및 질량 분석, 정확한 온도 및 압력 제어 등 다양한 기능을 제공합니다. 또한 모든 시스템 설정 및 컨트롤에 쉽게 액세스 할 수있는 멀티 레벨 터치 스크린 인터페이스 (multi-level touchscreen interface) 가 있습니다. CORIAL 300 iL에는 최대 3 개의 가스 소스를 사용하여 최대 300mm 직경의 샘플을 에칭 할 수있는 단일 멀티 레벨 에칭 챔버 (etching chamber) 가 장착되어 있습니다. 에칭 챔버에는 반응을 모니터링하기 위해 통합 된 OES 시스템 (integrated OES system) 과 에칭 트 종의 조성을 측정하기 위해 다중 레벨 질량 분석기 (multi-level mass spectrometer) 가 장착되어 있습니다. 챔버에는 최적의 에칭 조건을 위해 프로그래밍 가능한 온도 및 압력 제어가 장착되어 있습니다. 300 IL은 또한 최대 300mm 직경, 최대 3mm 두께의 금속 필름을 증착 할 수있는 고정밀 증착 챔버를 제공합니다. 증착실 에는 다단계 질량 분광계 (multi-level mass spectrometer) 도 장착되어 있어 증착 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 챔버는 퇴적 된 재료의 진공 어닐링에도 사용될 수 있습니다. CORIAL 300 iL은 고정밀도, 고품질 구성 요소 생산에 이상적인 선택으로, 다양한 어플리케이션에서 뛰어난 성능을 제공합니다. 사용이 간편하고 다양한 기능을 통해 다양한 에칭/증착 (etching/deposition) 프로세스를 통해 복잡하고 고성능 구성요소와 시스템을 만들 수 있습니다.