판매용 중고 CORIAL 300 iL #293634078

CORIAL 300 iL은 컴팩트하고 높은 처리량 및 저렴한 RIE (Reactive Ion Etching) 장비입니다. 300 IL은 광범위한 매개변수를 가진 독점 AC 주파수를 사용하여 광범위한 응용프로그램을 제공합니다. 이 시스템은 뛰어난 프로세스 반복성과 뛰어난 웨이퍼 처리 기능을 통해 높은 화면 비율의 etch 기능을 제공합니다. CORIAL 300 iL은 폴리머, 금속, 질화물, 산화물 및 유전체를 포함하여 사용 가능한 모든 재료를 처리할 수있는 유연성을 제공합니다. 이 고급 원자 스케일 에칭 장치 (Advanced Atomic Scale Etching Unit) 는 종합적인 레시피 빌딩 기능을 갖춘 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 사용자가 직접 에치 레시피를 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 시각적 웨이퍼 매핑 (Visual Wafer Mapping) 및 자동 웨이퍼 추적 머신 (Automatic Wafer Tracking Machine) 을 통해 반복성을 높이고 수동 프로세스 제어가 필요하지 않습니다. 300 iL은 정밀 에칭 기능을 위해 빠르고 높은 양자 효율과 저전압 (0-1 V) 이온 총 마이크로파 발전기를 갖습니다. CORIAL 300 iL에는 고성능 터보 펌프가 장착되어 있으며, 우수한 에치 레이트에 대해 5x10-7 torr의 진공을 달성 할 수 있습니다. 또한 최고 수준의 청결을 보장하기위한 입자 여과 도구가 있습니다. 내장 안전 기능에는 가스 누출 탐지기, 압력 과부하 인터 록 (press overload interlock), 화재 및 가스 안전 스위치 (Fire and gas Safety Switch) 가 포함되어 안전한 운영 환경을 제공합니다. 또한 300 iL은 여러 프로세스 레시피 및 개조 옵션을 제공하며 최대 3 개의 챔버로 확장 할 수 있습니다. CORIAL 300 iL은 MEMS 및 기타 마이크로 디바이스와 같은 첨단 구성 요소를 대량 생산하기위한 이상적인 반응성 이온 에처/애셔입니다. 산업용 연구개발 (R&D) 과 생산시설을 위한 귀중한 도구다.