판매용 중고 CI SCIENCE Torus 300K #9402271
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CI SCIENCE Torus 300K는 업계 등급 에칭 및 애싱 응용 프로그램을 위해 제작 된 고급 전자 빔 리소그래피 장비입니다. 이 시스템은 초고해상도 (ultra-high resolution) 에서 높은 생산성 (productivity) 에 이르기까지 다양한 에칭 요구 사항을 포괄하는 독특한 기능을 제공합니다. 이 장치는 강력한 중에너지 전자 건, 멀티 축 스테이지, 매우 민감한 광학 영상 구성 요소, 정교한 컴퓨터 제어 머신 (Computerized Control Machine) 으로 구성됩니다. 총은 에칭 된 기질 표면에 영향을 미치는 고 에너지 빔 (high-energy beam) 을 생성하여 작은 톱니 모양의 침입을 만듭니다. 이미지 컴포넌트 (image component) 는 빔에 의해 생성된 선 패턴을 캡처하고 다중 축 (multi-axis) 단계를 통해 빔의 정확한 위치를 지정하여 패턴을 생성합니다. Torus 300K는 에칭에서 10 나노 미터, 재싱에서 5 나노 미터까지 라인/공간 해상도를 달성 할 수 있습니다. 또한 최적화 된 에칭 (etching) 을 위한 펄싱 기능과 한 패스에서 여러 레이어를 생성하는 가변 패스 도구 (variable pass tool) 를 자랑합니다. 여기에는 사용자 정의 패턴 및 자동화 프로세스를 프로그래밍하기위한 특수 소프트웨어, 신속하고 정확한 에칭, 다중 실행에 대한 뛰어난 반복성. 이 모델은 MEMS 및 기타 마이크로 스케일 제작에서 3D 인쇄에 이르기까지 다양한 응용 프로그램에 적합합니다. 그것은 엄청나게 다재다능하며, 연구와 상업적 생산을위한 강력한 도구입니다. CI SCIENCE Torus 300K에는 진공 및 기타 유사한 저압 환경에서 작동하기 위해 압력 챔버가 부착되어 있습니다. 이 제품은 모든 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 요구 사항을 충족하도록 설계된 강력하고 고급 도구입니다.
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