판매용 중고 CI SCIENCE Torus 300K #9352896

CI SCIENCE Torus 300K
ID: 9352896
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2005
Bevel etcher, 12" 2005 vintage.
CI SCIENCE Torus 300K는 정밀 에칭, 애싱 및 레이저 마킹 응용 프로그램을 위해 설계된 최첨단 에처/애셔입니다. 멀티 존 (Multi-Zone) 난방 열 챔버와 고정밀 레이저 헤드를 갖춘 Torus 300K는 직관적인 사용자 경험과 생산 시간을 최적화하는 정확한 제어 기능을 제공합니다. CI SCIENCE Torus 300K etcher/asher는 흑연 코어에서 최대 온도가 1,650 ° C인 300mm 사각형 챔버를 갖추고 있습니다. 이 고온은 유연하고 정확한 에칭 및 애싱 작업을 가능하게합니다. 약실은 기판 가열을위한 최대 8 개의 백사이드 적외선 램프가있는 여러 개의 독립적 인 가열 요소에 의해 고리됩니다. 이 챔버 (chamber) 는 우수한 온도 안정성과 진공 및 압력 조건을 유지하도록 설계되어 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 과정에서 최적의 열 전달을 가능하게합니다. 각 바퀴의 용량은 10kg이며, 쉽게 큰 기판을 처리 할 수 있습니다. Torus 300K에는 고정밀 공명 레이저 헤드가 장착되어 있습니다. 이렇게 하면, 에칭 된 표면 의 정확 한 "레이저 '표시 와 금속 및 기타 물질 의 세밀 한" 에칭' 을 할 수 있다. 레이저 헤드는 레이저 헤드 설정의 직관적인 DDC (Direct Digital Control) 소프트웨어 최적화를 사용합니다. 이를 통해 최소한의 조정과 최대 유연성으로 높은 정밀도 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 결과를 얻을 수 있습니다. CI SCIENCE Torus 300K는 인체 공학적 열역학 디자인도 갖추고 있습니다. 이 설계를 통해, 설정 및 조정 시간을 최소화하면서 다양한 프로세스를 수용할 수 있는 유연성을 극대화할 수 있습니다. 솔리드 스테이트 (solid-state) 설계는 까다로운 환경과 어플리케이션에서 내구성과 안정적인 작동을 위해 설계되었습니다. 안전 연동 (Safety Interlock) 은 뚜껑이 압력 테스트 메커니즘으로 안전하게 닫힐 때만 챔버가 실행되도록 합니다. Torus 300K etcher/asher는 정확한 에칭 및 애싱 프로세스를위한 최첨단 기계입니다. 다중 구역 가열 열 챔버, 고정밀 레이저 헤드 및 인체 공학적 열 기계 설계로 인해 CI SCIENCE Torus 300K는 정확한 에칭 및 재싱이 필요한 응용 분야에 이상적인 선택이되었습니다. 또한 Torus 300K 는 다양한 에칭 및 애싱 애플리케이션에 유연성, 안정성, 안전성을 제공합니다.
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