판매용 중고 CI SCIENCE Torus 200 #293585731

CI SCIENCE Torus 200은 Confluence International, Inc.의 강력한 에치/애쉬 장비입니다. 최대 200mm의 기판 크기를 처리 할 수 있으며, 에칭을위한 하향식, 원통형 대류 챔버, 정확한 기판 위치 및 이동을위한 x/y/z 플랫폼, 효율적이고 안전한 폐기물 처리를위한 전동 덮개, 프로세스 자동화를 위한 독점 소프트웨어. 이 시스템은 단일 (single) 또는 양면 (double sided) 에칭 중에서 선택할 수 있는 기능과 표준 (standard) 및 사용자정의 (user-defined) 프로세스 레시피에서 선택할 수 있는 옵션을 제공합니다. 이 장치는 CPS (Crystal Polycrystalline Silicon) 기판을 포함하여 다양한 기질로 에칭 및 재싱에 사용할 수 있으며, 이는 종종 고에너지 이온 빔 기기 및 빔 리소그래피와 함께 사용됩니다. 토러스 200 (Torus 200) 은 다양한 크기의 기판을 수용하도록 설계되었으며, 프로그래밍 가능한 기판 홀더는 x 및 y 축을 따라 제어되고 정확한 움직임을 제공합니다. 또한 CI SCIENCE Torus 200의 고온 기능을 통해 알루미늄, 티타늄, 스테인리스 스틸 및 기타 재료의 고효율 에칭 및 재싱이 가능합니다. 이 기계에는 턴다운 격리, 외부에 장착 된 콘덴세이트 탱크, 고효율 여과 및 자동 대피를위한 원격 퍼지/벤트 포트 (remote purge/vent port) 를 제공하는 내부 송풍기가 장착되어 있습니다. 또한, 안전 기능에는 원격 수동 가스 차단 스위치 및 패널 장착 비상 정지 스위치가 포함됩니다. 또한, 도구 뒷면에서 사용할 수 있는 4선 인터페이스 (four-wire interface) 연결을 통해 원격 제어를 통해 사용자는 PC 또는 기타 호환 외부 장치를 통해 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 기능에 액세스할 수 있습니다.