판매용 중고 CHEMCUT CC8000 #9301051

CHEMCUT CC8000 Asher는 가장 까다로운 응용 프로그램을 위해 설계된 강력한 플라즈마 에칭 머신입니다. 이 강력한 플라즈마 에처는 박막 증착, 표면 준비, 접착 및 웨이퍼 처리에 적합합니다. 균일 한 표면 수정을 달성하기위한 다용도, 내부 및 고정밀 솔루션을 제공합니다. CHEMCUT CC 8000 (CEMCUT CC 8000) 은 사용자에게 프로세스 매개변수에 대한 높은 수준의 제어 권한을 부여하는 고급 (advanced) 기능을 갖추고 있어 일관되게 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. CC8000에는 조정 가능한 에치 레이트와 웨이퍼 반지름 지원이 있습니다. 에치 속도 조정 기능을 사용하면 에치 속도와 웨이퍼 반지름 사이의 비율을 세밀하게 조정할 수 있습니다. 이렇게 하면 여러 가지 기판 크기 와 재료 가운데 서 "와퍼 '에 균일 한" 에치' 를 맞출 수 있다. 웨이퍼 (wafer) 지원을 통해 에치 컴포지션의 일관성이 향상되어 전체 표면을 따라 균일 한 에치가 생성됩니다. 이 시스템은 표준 RS232/GPIB 인터페이스 또는 SCPI 호환 프로그래밍 가능 인터페이스를 사용하여 기존 시스템에 통합 할 수 있습니다. 내장형 소프트웨어를 사용하면 프로세스 매개 변수를 쉽게 설정하고, 성능을 모니터링하고, 보고서를 생성하고, 데이터를 관리할 수 있습니다. 터치 패널 디스플레이의 사용자 친화적인 GUI를 통해 편리하고 직관적인 작업을 수행할 수 있습니다. CC 8000은 저압 정전 결합 플라즈마 시스템과 결합 된 1.6 - 14 GHz 주파수 범위를 가진 고출력 마이크로파 소스를 사용하여 우수한 에칭 결과를 얻습니다. 이 기계 는 또한 "플라즈마 '를 식히기 위한 전용 냉각계 를 갖추고 있어서" 에칭' 공정 을 더욱 정밀 하게 할 수 있다. 이 기계는 안정적이고 일관된 플라즈마 에칭 경험을 제공하도록 설계되었습니다. 이 기계는 운영자가 고에너지 방사선에 노출되지 않도록 하는 다양한 안전 (safety) 기능을 갖추고 있습니다. 예를 들어, 조정식 광도 (Adjustable Light Intensity) 는 운영자가 안전한 거리에서 프로세스를 모니터링 할 수 있도록 합니다. 비상 사태 (Emergency Stop) 버튼은 비상시 빠른 응답을 위해 전면 (Front) 패널에 있습니다. CHEMCUT CC8000 Asher (CHEMCUT CC8000 Asher) 는 반도체 장치의 제작과 다양한 플라즈마 에칭 프로세스에 사용됩니다. 이 다양하고 사용자 친화적 인 에처 (etcher) 는 플라즈마 에칭 프로세스에서 안정적이고 일관된 정밀도를 추구하는 사람들에게 이상적인 선택입니다.