판매용 중고 CANON Surpass 300 #9359378
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CANON Excass 300은 반도체 산업의 특정 요구를 충족하도록 설계된 화학 에칭 및 애셔 머신입니다. 단일 축 (Single-Axis) 또는 이중 축 (Dual-Axis) 의 두 가지 구성으로 작동 할 수있는 다중 스테이션 에처입니다. 단일 축 (Single-Axis) 구성을 사용하면 회전 프로세스를 사용하여 금속 필름 또는 유전체 레이어를 에칭하여 작은 복합 피쳐를 생성할 수 있습니다. 독특한 나선 패턴 가스 분사 시스템 (Spiral Pattern Gas Injection System) 을 통해 다양한 재료에 걸친 식각 품질이 우수합니다. 이중 축 (Dual-Axis) 구성은 마스킹 시스템을 사용하여 높은 기능 해상도의 패턴을 생성합니다. 이 기계 는 구리, "알루미늄 '," 실리콘', "티타늄 '등 여러 가지 재료 로 식각 할 수 있다. 300을 능가하는 300은 빠르고 정확한 플로팅이 가능한 대용량, 고해상도 디지털 디스플레이를 갖추고 있습니다. 또한 고급 DMS 컨트롤러를 사용하면 압력, 온도, X/Y 속도, 타이밍 등의 에치 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 기계는 또한 에치 (etch) 프로세스를 빠르고 정확하게 모니터링하기 위해 통합된 비전 시스템으로 설계되었습니다. CANON Excass 300은 최대한의 안전성과 안정성을 위해 설계되었습니다. "가스 '분석 및 압력 모니터링 과 같은 인상적 인 안전" 어레이' 는 공정 이 항상 안전 하고 효율적 으로 수행 되도록 보장 해 준다. 뿐 만 아니라, 이 기계 는 에너지 효율적 이도록 설계 되었으며, 진공, 압력, 난방 장치 의 조합 을 이용 하여 "에너지 '소비 를 감소 시킨다. 300 이상은 작동 및 유지 관리가 간단합니다. 이 시스템에는 설치 프로세스를 단순화하는 사용자에게 친숙한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 가 있습니다. 또한, 교체 가능한 부품은 설치와 서비스가 간편하며, 전체 (full-production) 를 신속하게 수행할 수 있습니다. 또한 수년 동안 안정적으로 사용할 수 있도록 긴 서비스 수명 (Service Life) 으로 설계되었습니다. CANON Excass 300은 휴대용 에칭 또는 애싱 요구에 이상적인 선택입니다. 사용자 정의 가능한 구성, 고급 안전 (Safety) 기능, 사용자 친화적 설계를 통해 매우 복잡하고 작은 기능을 만들 수 있습니다. 또한 TCO (총소유비용) 를 낮추고 안정적인 운영을 통해 모든 반도체 생산 요구에 적합한 솔루션을 선택할 수 있습니다.
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