판매용 중고 CANON MAS 8220 #9157615

CANON MAS 8220은 최대 30 개의 웨이퍼를 동시에 처리 할 수있는 탠덤 축 전기 화학 에칭/애싱 장비입니다. 다양한 에칭 및 애싱 프로세스에 적합합니다. 이 시스템은 2 단계 에치 프로세스를 사용하며, 여기에는 사전에칭 및 사후에칭 (각각) 이 포함되며, 이는 높은 종횡비 구조의 정밀 에칭을 보장하도록 설계되었습니다. 사전 에치는 깊고 정확한 고가로 비율 구조를 만들 수 있도록 맞춤형으로 조정됩니다. 직관적 인 소프트웨어 제어 장치 (Software Control Unit) 가 작동을 위해 포함되어 있으며 에치 및 애싱 프로세스를 모니터링합니다. CANON MAS-8220은 듀얼 고성능, 독립 에칭 및 애싱 (ashing) 선박으로 제작되었으며, 각 선박에는 자체 전용 전원 공급 장치가 있습니다. 전원 공급 장치가 분배됩니다: 직류 (direct current), 교류 (alternating current) 및 펄스 직류 (pulsed direct current) 는 각 선박과 별도로 제어됩니다. 이를 통해 각 선박에 대한 정밀한 전력 제어, 안정적인 에치 레이트 (etch rate) 및 적절한 에치 레이트 전환을 유지할 수 있습니다. 에칭 매개변수는 공정 시간, 온도, 에칭 시약 (etching reagent), 농도 및 추가 촉매 시약 (catalyst reagent) 과 같은 에칭 변수를 포함하여 사용자정의할 수 있습니다. MAS 8220에는 고정밀도 필터를 사용하여 시약이 미립자에서 자유롭도록 하는 혁신적인 여과 기계가 있습니다. 여과 도구 (filtration tool) 는 또한 시약을 재활용하고 수명을 연장하는 역할을합니다. 또한, 에셋에는 화학적 냉각 (chemical cooling) 및 난방 모델 (heating model) 이 내장되어 있어 에칭 과정에서 온도 균형을 유지하여 공정 온도를 제어합니다. MAS-8220 에는 최대 99 개의 프로그래밍 가능한 프로세스 모드가 포함되어 있어 프로세스 유연성을 극대화하고 프로세스 제어를 조정할 수 있습니다. 이 장비 는 또한 습식 "벤치 '나" 후우드' 에 사용 할 수 있도록 설계 되어 있으며, 최적 의 사용자 안전 을 가능 케 한다. 또한 간단한 수동 설정에서 완전하게 자동화된 프로세스 시퀀스 (process sequence) 에 이르기까지 다양한 프로세스 제어 옵션을 제공합니다. 또한, 장치의 소프트웨어를 프로그래밍하여 원하는 etching 매개변수를 모니터링하고 유지할 수 있습니다. CANON MAS 8220을 통해 실험실과 생산 시설은 반도체 장치 석판화, 박막 장치 처리, MEMS 장치 제작, 바이오 화학 응용 프로그램 등 다양한 응용 분야에 대해 높은 수준의 정확성과 정확도를 달성 할 수 있습니다. 이 기계의 직관적인 동작 (operation) 및 정밀 에칭 (precision etching) 기능은 까다로운 산업 및 실험실 환경에서 고급 사용자에게 이상적인 선택이 됩니다.