판매용 중고 CANON MAS-801HR #293821366

CANON MAS-801HR
제조사
CANON
모델
MAS-801HR
ID: 293821366
웨이퍼 크기: 6"
Asher, 6".
CANON MAS-801HR은 반도체 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 최첨단 etcher/asher 장비입니다. 이 고급 도구는 고성능 반도체 제조 장비 캐논 (CANON) 포트폴리오의 일부이며, 정밀하고 효율적인 재료 처리를 지원하는 다양한 혁신적인 기능을 제공합니다. 캐논 MAS 801HR (CANON MAS 801HR) 의 핵심에는 정교한 플라즈마 처리 기능이 있는데, 이를 통해 사용자는 높은 정밀도와 제어를 통해 재료를 에치하거나 재로 만들 수 있습니다. 이 시스템에는 여러 개의 가스 입력 (gas input) 과 RF 전원 공급 장치 (RF Power Source) 가 장착되어 있어 다양한 프로세스 가스 및 매개변수를 에칭 및 애싱 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다. MAS-801HR (MAS-801HR) 은 컴팩트하고 모듈식 설계로, 반도체 제조 설비에 통합하기에 적합합니다. 설치 공간 (small footprint) 및 다용도 (versatile) 구성 옵션을 통해 사용자가 특정 처리 요구 사항에 맞게 장치를 사용자 정의할 수 있는 유연성을 제공합니다. MAS 801HR 의 주요 특징 중 하나는 첨단 프로세스 제어 기능입니다. 기계에는 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 공정의 실시간 모니터링 및 제어가 가능한 고정밀 엔드포인트 감지 도구가 장착되어 있습니다. 따라서 일관되고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있으므로 프로세스 안정성 및 생산성이 향상됩니다. 또한 CANON MAS-801HR에는 입자 생성을 최소화하고 프로세스 균일성을 향상시키는 최첨단 챔버 디자인이 장착되어 있습니다. 이 자산은 정밀한 가스 전달 및 제어 메커니즘을 갖춘 고진공 (high-vacuum) 환경을 갖추고 있어 프로세스 성능과 신뢰성이 우수합니다. CANON MAS 801HR은 또한 고급 자동화 기능을 제공하여 운영을 간소화하고 생산성을 높입니다. 이 모델에는 프로세스 매개변수 (parameter) 를 쉽게 프로그래밍하고 원격으로 모니터링할 수 있는 사용자에게 친숙한 인터페이스가 장착되어 있습니다. 자동 웨이퍼 처리 기능을 통해 운영 효율성을 향상시키고 다운타임을 줄일 수 있습니다. 성능 면에서 MAS-801HR 은 높은 에치율 (etch rate) 과 탁월한 선택성을 제공하므로 반도체 제조 분야에서 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 이 장비는 고가용성 (High Aspect Ratio) 및 서브미크론 (Submicron) 기능 크기를 달성하여 고급 디바이스 구성 프로세스의 까다로운 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 또한, MAS 801HR 은 간편한 유지보수 및 서비스 편의성을 제공하도록 설계되었으며, 중요한 구성 요소에 공구가 필요 없는 액세스를 통해 신속하고 효율적인 문제 해결 및 수리 작업을 수행할 수 있습니다. 따라서 가동 시간이 극대화되고 유지 보수 작업으로 인한 가동 중지 시간이 최소화됩니다. 전반적으로 CANON MAS-801HR은 첨단 플라즈마 처리 기술과 혁신적인 기능을 결합하여 고성능, 신뢰성, 비용 효율적인 반도체 처리 솔루션을 제공하는 최첨단 etcher/asher 시스템입니다. 탁월한 프로세스 제어, 자동화 기능, 다양한 구성 옵션을 갖춘 CANON MAS 801HR 은 반도체 업계의 다양한 애플리케이션 (연구 개발, 대량 생산 등) 에 적합합니다.
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