판매용 중고 CANON / ANELVA ILD 4100SR #9412378
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CANON/ANELVA ILD 4100SR은 표면의 고정밀 미세 구조를 수행 할 수있는 최첨단 에처/애셔입니다. 이 고급 장비 (Advanced Equipment) 는 우수한 품질의 에치 패턴을 생산하면서 뛰어난 반복성과 균일성을 제공하도록 설계되었습니다. CANON ILD-4100SR은 플라즈마 DLC (Diamond-Like Carbon) 에칭 프로세스를 사용하여 가장자리 정의가 뛰어나고 표면 거칠기가 낮은 매우 평평한 표면을 만듭니다. 정합성 보장 (Consistent Result) 을 위해 에칭 매개변수를 완벽하게 제어하는 완전 자동화 장비입니다. ANELVA ILD-4100 SR은 주로 마이크로 머신 (micromachining) 에 사용되며 특히 높은 처리량과 정밀도가 필요한 생산 프로세스에 적합합니다. 이 기계는 픽셀 레벨 해상도 (pixel-level resolution), 고선택성 (high selectivity), 고정밀도 모양 제어 (high accuracy shape control) 등의 기능과 함께 뛰어난 에지 품질의 미세 구조를 만들 수 있는 표준 레이저 헤드로 구성할 수 있습니다. 다른 "레이저 '머리 는" 머신' 을 깊은 "에칭 '및 복잡 한 기하학 과 같은 특정 한 응용 에 맞게 조정 할 수 있다. 캐논 일드 4100 SR (CANON ILD 4100 SR) 은 특허를 획득한 전자기 제동 시스템으로, 에칭 프로세스를 정확하게 제어하고 반복 가능한 성능을 보장합니다. 이 장치에는 에치 인테시티 (etch intesity) 에 대한 피드백 제어를위한 통합 비전 머신도 장착되어 있습니다. 고급 저압 챔버 (Low-pressure chamber) 와 열전대 피드백 루프 (thermocouple feedback loop) 를 통해 ILD 4100 SR은 에칭 프로세스 동안 매우 안정적인 조건을 유지할 수 있으므로 뛰어난 균일성과 반복 성을 제공합니다. 또한, 이 도구는 진공 및 산소 센서 (oxygen sensor) 와 같은 고급 안전 시스템을 제공하여 잠재적 위험을 감지하고 위험 조건이 감지되면 자동으로 종료합니다. 또한 ILD-4100SR 에는 매크로 프로그래밍이 포함된 장치 제어 인터페이스 (device control interface) 와 에칭 프로세스를 쉽게 제어하고 모니터링할 수 있는 터치 스크린 디스플레이 (touch-screen display) 가 포함되어 있습니다. 캐논 일드 4100SR (CANON ILD 4100SR) 은 뛰어난 반복성과 균일성을 갖춘 고정밀 미세 구조화가 필요한 생산 프로세스에 완벽한 선택입니다. 정교한 컨트롤과 고급 안전 기능 (Advanced Safety Features) 은 정밀 어플리케이션에 이상적인 선택으로, 일관되고 안정적인 결과를 제공합니다.
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