판매용 중고 CANON / ANELVA ILD 4100SR #9374945

CANON/ANELVA ILD 4100SR은 박막 기질의 표적 에칭 및 재시를 위해 설계된 아트 에처/애셔 상태입니다. 습식 또는 건식 에칭과 재싱이 모두 가능한 포괄적 인 기계입니다. 유사 머신 (comparable machine) 보다 높은 공정 속도를 특징으로하여 민감한 기판의 효율적이고 철저한 에칭 및 재싱 (ashing) 을 허용합니다. CANON ILD-4100SR은 처리 가능한 기판의 건조 및 습식 에칭 및 재싱에 모두 적합합니다. 알루미늄 (Aluminum), 니켈 (Nickel) 및 구리 (Copper) 와 같은 다양한 금속 층을 균일성과 최대 효율성으로 에칭하고 세울 수 있습니다. 수평 (horizontal) 및 수직 (vertical) 이동 제어를 통해 짧은 기간 동안 기판의 정확하고 빠른 에칭 및 재싱이 가능합니다. ANELVA ILD-4100 SR에는 에칭 및 애싱 (ashing) 과정에서 유해 화학 물질이 방출되지 않도록 배기 가스 스크러버가 장착되어 있습니다. 이 기능은 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스가 빠르고 안전하게 완료되도록 합니다. 또한, CANON/ANELVA ILD-4100SR에는 에칭 및 애싱 프로세스 동안 기판 표면의 정밀한 이미징을위한 CCD 카메라가 장착되어 있습니다. ILD-4100 SR은 또한 디지털 압력 센서 (digital pressure sensor) 를 갖추고 있으며, 프로세스 대기 및 기판 온도를 모니터링하여 에칭 및 애싱 결과를 최적화합니다. 따라서 각 고유 프로세스에 대해 정확한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 매개변수를 정확하게 설정하여 최대 공정 출력을 보장할 수 있습니다. CANON ILD 4100SR은 신뢰할 수 있고 정밀한 etcher/asher로, 다른 프로세스와 기판에 적합합니다. 첨단 기판 에칭 (Ettrate Etching) 및 애싱 (Ashing) 시스템을 필요로 하는 모든 사람에게 적합한 솔루션으로, 프로세스 생산량을 높이고 운영 비용을 절감할 수 있습니다.