판매용 중고 CANON / ANELVA ILD 4100SR #9374944

CANON/ANELVA ILD 4100SR은 다양한 유형의 물리적 에칭 및 애싱 프로세스 응용 프로그램을 위해 설계된 에처/애셔 장비입니다. 유도 결합 플라즈마 (ICP) 소스를 사용하여 플라즈마를 유도하는 고성능 에칭/애싱 시스템입니다. 그런 다음, 이 "플라즈마 '는 여러 종류 와 크기 의" 웨이퍼' 를 에칭 하고 재싱 하는 데 사용 된다. CANON ILD-4100SR은 최대 8 x 8 인치 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. ANELVA ILD-4100 SR은 웨이퍼의 정확한 에칭 및 재싱을위한 다단 가스 제어 구조를 특징으로하는 장치입니다. 이 기계는 3 구역 가스 제어 장치 (gas control unit) 를 갖추고 있으며 가스 제어 구역은 안정적인 에칭 및 애싱 결과를 보장합니다. 가스 제어 장치 (gas control unit) 는 또한 에칭/애싱 챔버 내에서 미립자 생성을 줄이는 데 도움이됩니다. CANON/ANELVA ILD-4100 SR은 OAP (Optically Actuated Splash Protection Tool) 를 사용하여 다른 구성 요소와 상호 작용하는 스파크의 위험을 줄여 기판 및 구성 요소를 보호합니다. 이 자산은 최적의 환경에서 증착과 에칭 (etching) 이 이루어지며, 임계 영역 (critical area) 이나 민감한 컴포넌트가 손상되지 않도록 합니다. ILD-4100 SR 모델에는 매우 정밀한 매개변수 추적을위한 닫힌 루프 실험도 있습니다. 따라서 실제 프로세스 실행 중에도 프로세스 제어 매개변수 (process control parameters) 를 빠르고 정확하게 실험할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스 결과를 최대한 활용할 수 있습니다. CANON ILD 4100 SR은 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 간소화하는 자동화된 로드 및 언로드 시스템을 갖춘 독립형 장비입니다. 이 자동 장치 (Automated Unit) 는 프로세싱 및 설정 시간을 줄이고, 가장 최적의 조건에서 웨이퍼를 에치 (eched) 및 애쉬 (ashed) 하는 데 도움이 됩니다. 전반적으로 ILD 4100 SR은 다양한 유형의 물리적 에칭 및 애싱 프로세스 어플리케이션을 위해 설계된 고성능 etcher/asher 머신입니다. 이 도구는 ICP 소스, 3 구역 가스 제어 장치, OAP (Optically Actuated Splash Protection Asset), Closed-Loop Experiments 기능 및 최적화된 에칭 및 어싱 프로세스 결과를 위한 자동 로드 및 언로드 모델을 갖추고 있습니다.