판매용 중고 CANON / ANELVA ILD 4100SR #9292593

ID: 9292593
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1996
Oxide dry etcher, 8" 1996 vintage.
CANON/ANELVA ILD 4100SR은 광범위한 어플리케이션에 고밀도 에칭을 제공하도록 설계된 다목적 Dry-Etching Asher입니다. CANON ILD-4100SR은 유기 및 무기 물질을 모두 처리 할 수 있으며, 정확성과 반복성이 높은 평평하고 복잡한 표면을 모두 다룹니다. 고주파 방전 (High-Frequency Discharge) 전원 공급 장치 등의 기능을 통해 탁월한 에칭 효율성과 미세한 기능을 정확하게 차단할 수 있습니다. 또한 강력한 폭격 총이 있으며, 5kW 유도 결합 방전을 장착하여 에치 품질과 재생성을 보장합니다. ANELVA ILD-4100 SR에는 10 단계 조정 가능한 가스 흐름 장비도 있으므로 사용자가 에칭 매개변수에 대한 정확한 제어를 얻을 수 있습니다. CANON/ANELVA ILD 4100 SR에는 다중 축 이동, 에칭 조건 자동 모니터링 및 프로세스 제어와 같은 정교한 기능이 포함되어 있습니다. 마이크로프로세서 기반의 모니터링 시스템 (monitor system) 은 조건이 정확한 공차 수준 내에서 유지되도록 보장하며, 에칭 (etching) 프로세스가 매우 반복 가능하도록 보장합니다. ILD-4100SR에는 에칭 매개변수를 세밀하게 조정할 수 있는 그래픽 인터페이스도 포함되어 있습니다. 또한 ILD 4100 SR에는 프로그래밍 가능한 어플리케이션 유닛이 내장되어 있어 대규모 실행 또는 어려운 어플리케이션의 에칭 (etching) 프로세스를 자동화할 수 있습니다. 또한, 과부하 방지 장치 (overload protection machine) 가 있어 에칭 프로세스가 안전하고 효율적입니다. 캐논 일드 (CANON ILD) 4100SR은 실리콘, 석영, 알루미늄, 폴리 이마이드 및 기타 여러 물질과 같은 다양한 물질과 협력하기에 적합합니다. 플랫 (flat) 또는 프로파일 (profiled) 서피스에서 탁월한 정의와 매끄러움을 제공할 수도 있습니다. ILD-4100 SR의 높은 정확성과 반복성은 마이크로 제조, LDS, 고급 모터 제조, 의료 장치 제조, IC 프로세싱 등과 같은 어플리케이션에 적합합니다. CANON/ANELVA ILD-4100 SR은 많은 에칭 응용 프로그램에 적합한 선택 사항입니다. 높은 정확도, 반복 가능성, 직관적 인 제어 시스템의 조합으로 현대 에칭 (etching) 응용 프로그램에 적합한 선택이 가능합니다. 매우 강력하고, 안정적이며, 비용 효율적인 솔루션으로서 다양한 에칭 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
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