판매용 중고 CANON / ANELVA ILD 4100SR #9238858
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CANON/ANELVA ILD 4100SR은 고정밀 표면 처리에 사용되는 ICP 에칭 기계입니다. 리토 그래피 (lithography) 와 에칭 (etching) 프로세스를 모두 수행하는 데 사용될 수있는 다기능 장치로서 의료, 칩 제조, 광학 부품 산업을위한 다기능 도구입니다. 기계는 에칭 프로세스를 위해 CF4, CHF3 및 SF6의 이온화 된 가스 조합을 사용하여 작동합니다. 이 가스는 ICP 전원 공급 장치에서 얻은 플라즈마가있는 금속 바늘을 통해 방출됩니다. 그런 다음 바늘을 샘플에서 스캔하여 원하는 패턴이나 서피스를 골고루 에치 (etch) 합니다. CANON ILD-4100SR의 넓은 에칭 면적은 최대 400mm x 400mm이고 에칭 깊이는 최대 10zm이며, 정밀도가 높고 최대 0.5m입니다. 컴팩트 (compact) 설계를 통해 기존 시스템에 쉽게 설치하고 통합할 수 있으며, 머시닝 시간이 짧아 생산성이 향상되고, 재료 낭비가 줄어듭니다. 이 장치는 고해상도 (고해상도) 조회 장비를 통해 사용자가 실시간으로 에칭 프로세스를 모니터링할 수 있습니다. 또한 고정밀도 자동 레벨 (auto leveling system) 을 통해 작동 중에 에칭 바늘을 올바르게 조정하고 정렬할 수 있습니다. ANELVA ILD-4100 SR에는 아크 감지, 냉각 수질 관리, 질소 막, 스파크 검출기와 같은 높은 안전 기능이 장착되어 있으며, 이는 모두 안전한 작업 환경에 기여합니다. 또한 원격 작업 (remote operation) 과 최대 제어 및 유연성을 위한 수동 제어 (manual control) 를 가능하게 합니다. 이 기계는 정확하고 안정적인 결과를 위해 지속적으로 모니터링되며, 다른 CANON 장비와 통합하여 효율성을 높일 수 있습니다 (영문). 전반적으로 ILD-4100SR은 정밀 처리를 위한 안정적이고 안정적인 에칭 솔루션입니다. 다양한 기능과 옵션을 통해 다양한 응용프로그램 (application) 과 업종에 적합하며, 높은 안전 표준 (Safety Standard) 은 보호되는 작업 환경을 보장합니다. 이 에칭 머신은 설치와 작동이 용이하며, 뛰어난 성능을 위해 고정밀도 및 반복 기능을 제공합니다.
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